重磅！上海微电子中标长江存储光刻机！

近日，亚化咨询从招标网上获悉，上海微电子中标了长江存储的一台先进电子设备。

对该招标项目编号进行查询后获悉，中标的是一台型号未知的光刻机，疑似是12吋i-line光刻机。

这个消息无疑让中国半导体为之振奋！

在2002年之前，全球光刻机只有美国、荷兰和日本拥有入场券，并对中国实施技术封锁。近年来，ASML、Nikon和Canon依旧占据了全球半导体前道光刻机99%的市场。

2002年，光刻机被列入国家863重大科技攻关计划，上海微电子装备有限公司由此成立。上海微电子装备(集团)股份有限公司（简称SMEE）主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。公司设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。

目前，上海微电子装备600系列光刻机已经可以满足0.28um-90nm的IC前道制造。

亚化咨询数据显示，目前所公开的招中标信息中，上海微电子装备已共计中标3台半导体用光刻机给芯片厂（后道封装厂及部分科研单位不算在内），分别供应给上海积塔半导体、中芯绍兴和长江存储。此外，上海微电子的光刻机还进入了士兰微等国内其他芯片厂商！

上海微电子可查询的光刻机供应中标情况

采购商类型数量中标时间上海积塔半导体i-line光刻机12020/7/18中芯绍兴光刻机12020/10/10长江存储光刻机12021/1

近年来，中国芯片制造行业飞速发展，多个12英寸生产线建成或扩产，带来巨大的光刻机采购需求，亚化咨询整理了近几年国内部分12吋晶圆产线的光刻机采购情况（截至2021年1月）。

来源：亚化咨询《中国半导体光刻产业链报告2019-2020》

另一方面，上海微电子中标长江存储光刻机也代表着国内本土芯片厂对于培养大陆本土供应链的需求越来越高！这也代表着国内半导体设备、材料厂商存在更多的机会，设备、材料国产化率正在不断攀升！

以长江存储为例，从总数上看，截至2020年7月15日长江存储共中标185台国产设备（这里的国产设备指晶圆制造中使用的主要工艺设备，如光刻设备、刻蚀设备、清洗设备、薄膜设备等，不包含泵、污染物处理、气体/液体注入系统等相关设备，下同），在刻蚀设备、去胶设备、氧化/热处理设备、薄膜设备、抛光设备、清洗设备、量测/检测设备领域实现了一定程度的国产化。

目前YMTC主要的国产设备供应商为北方华创、屹唐半导体、中微半导体、盛美半导体、华海清科、精测电子、沈阳拓荆科技、中科飞测、睿励科学仪器等企业。

亚化咨询研究显示，北方华创的设备在YMTC中标的国产设备中占的比例最高，达到30%，屹唐半导体和中微半导体位居第二、第三。

从逐年的数据来看，YMTC在2019年中标的国产设备呈爆发式增长，甚至超过了2017年和2018年的总和。从2020年1月至2020年7月15日，YMTC中标的国产化设备已经达到45台，目前YMTC开启新一轮的大批次设备中标，国产设备企业有望争取到更多的订单，预计2020年YMTC中标的国产设备将超过120台。

上海微电子装备中标了长江存储的光刻机，仅仅只是中国半导体自主化的一小步。设备进场后，还需要反复地进行工艺调试、设备改进，这对于长江存储和上海微电子双方而言，都是巨大的挑战。

【半导体年度报告】

《中国半导体大硅片年度报告》

《中国半导体电子气体年度报告》

《中国第三代半导体年度报告》

《中国半导体先进封装年度报告》

《中国半导体光刻产业链年度报告》