近期，由于国产浸没式DUV光刻机传出量产消息，据外媒报道，除了长期承担研发重任的上海微电子（SMEE）外，宇量升、芯上微装以及上海爱晟纳电子科技集团等企业相继进入公众视野。这些公司均扎根于上海，并且在人才、技术和业务层面与上海微电子有着不同程度的关联。
光刻机研发是一项极其复杂的系统工程，涵盖光学系统、光源、精密运动平台、控制软件及材料等多个环节。随着技术步入工程验证和量产阶段，设立不同平台来分担任务已成为行业常态。例如，芯上微装主要承接先进封装光刻设备业务，宇量升多次被提及参与前道DUV光刻机布局，而爱晟纳则因浸没式DUV光刻机的量产传闻备受瞩目。
这些光刻机相关企业之所以高度集中在上海，得益于该市深厚的半导体产业基础。作为全国集成电路产业链布局最早、最完善的城市之一，上海拥有张江科学城和临港新片区等核心区域。中芯国际、华虹集团等晶圆制造基地的存在，使得光刻机在研发完成后能够迅速对接客户端，开展工艺验证与产线导入。
此外，上海在半导体设备进出口方面具备显著的枢纽优势。光刻机生产需要大量精密光学元件和特殊零部件，上海自贸区及临港新片区成熟的保税物流和通关机制，为设备企业提供了高效的供应链环境。
另一方面，华为在上海的研发布局也为产业发展注入了动力。2024年启用的华为练秋湖研发中心是其全球最大研发基地之一。在外部出口管制背景下，华为海思在上海设立据点，持续推动AI芯片和手机SoC等产品的本土化制造，这直接拉动了对光刻机等先进制程关键设备的需求。
整体来看，上海正在将核心人才、设备研发、晶圆厂验证与终端需求紧密结合。光刻机产业的自主化进程，已从过去单一企业的技术攻关，转变为依托产业集群，全面整合研发、供应链、制造与验证资源的协同发展模式。
