瑶光半导体宣布自研的SiC激光退火设备交付

9月26日，瑶光半导体公司（下文简称“瑶光半导体”）公众号发文称，公司自研的首批SiC激光退火设备ES500-2量产下线，并举行了交付仪式。

SiC激光退火设备ES500-2采用正向研发的思路，自主研发集成系统和光路设计，创新性使用六西格玛稳健性开发、可靠性设计，结合自研生产核心零部件，实现了长期、安全、稳定、可靠运行，满足客户的使用要求。

瑶光半导体（浙江）有限公司成立于2023年4月28日，从事于半导体器件专用设备制造和销售。

该企业4月份签约落地到如今的产品交付，其速度令人咂舌。

据悉，瑶光是浙江工业大学莫干山研究院今年引进的重点项目，主要从事第三代宽禁带半导体制程设备的研发、生产和销售，目前公司已完成瑶光闭环温度控制系统，并拥有瑶光功率芯片背面激光退火方法，自主创新瑶光SiC外延生长方案，惰性气体屏障技术等多项专有技术。
官微称，瑶光半导体在研设备“星型SiC MOCVD”（ES600)，将持续加大自主研发力度，进一步提供核心部件国产化解决方案。ES600计划于今年四季度完成研发，这将有望填补国内该市场领域的空白。

全球范围内，激光退火机市场主要集中在亚太地区，其中又以中国、日本、韩国等国家为主要参与者。

激光退火机市场集中度较高，高端市场几乎被国外企业垄断，其中三井集团、日本住友重工、YAC BEAM、日本日立、应用材料等企业市场占有率较高。

瑶光半导体现自研并产出交付SiC激光退火设备，这对打破该设备由外国市场垄断的现状有着积极意义。

封面图片来源：拍信网