陕西科技大学尉国栋：SiC基微型核电池研究进展

随着微机电系统(MEMS)技术的迅速发展，体积更小，功能更多，集成度更高的MEMS器件已经成为新的发展方向和研究热点。微电池(也称微能源)是MEMS器件的电源供给装置和重要组成部分，MEMS器件的小型化即要求电源的能量密度更高和更小的尺寸，而现有的各种微能源由于其较低的能量密度，使用寿命、集成性和性能输出的稳定性等方面的制约，极大地限制了MEMS器件的发展。据此，研究体积小、可集成、能量密度大，特别是能够采用半导体工艺大批量制备的微电池具有重要的科学意义和军事实际应用意义，己经引起了国内外的广泛关注。

近日，“2023功率与光电半导体器件设计及集成应用论坛”于西安召开。论坛由第三代半导体产业技术创新战略联盟（CASA）指导，西安交通大学、极智半导体产业网（www.casmita.com）、第三代半导体产业主办，西安电子科技大学、中国科学院半导体研究所、CASA人才发展委员会、全国半导体应用产教融合（东莞）职业教育集团联合组织筹办。

论坛期间，陕西科技大学尉国栋带来“SiC基微型核电池的研究”的主题报告，SiC基辐致伏特效应核电池是通过半导体SiC的PN结将放射性同位素(放射源)衰变所放射出的粒子能(如α粒子、β粒子和γ射线)转换为电能的装置。它具有能量密度大、体积小，寿命长、工作稳定性好和易于集成等优点，其换能结构简单，加工工艺成熟，满足MEMS在军事、深海、太空等特殊环境条件下的使用要求，具有广阔的发展前景。

报告中分享了SiC基辐伏电池技术研究成果，进一步制备由H-3源、C-14放射源和SiC器件、金刚石器件构成的辐伏电池。计划采用氚/储氚合金和氧化铝阻氚涂层封装、14C金刚石固碳、高性能4H-SiC换能器件和基于Lift-off的金刚石换能器件。通过建立仿真模型、半导体IDM工艺、激光离子源在计算和实验上实现四个主要技术点。

CASICON 系列活动简介

“先进半导体产业大会（CASICON）” 由【极智半导体产业网】主办，每年在全国巡回举办的行业综合活动。活动聚焦先进半导体产业发展热点，聚合产业相关各方诉求，通过“主题会议+项目路演+展览”的形式，促进参与各方交流合作，积极推动产业发展。CASICON 系列活动将以助力第三代半导体产业为己任，联合实力资源，持续输出高质量的活动内容，搭建更好的交流平台，为产业发展贡献应尽的力量。

（备注：以上信息仅根据现场整理未经嘉宾本人确认，仅供参考！）