这个光刻胶龙头2022业绩公布，营收超16亿！

昨日，华懋科技发布公告称，公司2022年营收约为16.37亿元，同比增长35.75%；净利润约为1.98亿元，同比增长12.68%。

针对光刻材料业务，华懋科技则表示，公司重要参股公司徐州博康作为国内领先的 IC 光刻胶与光刻材料公司，2022年以来在光刻胶相关的技术与工艺环节突破不断，也得到了下游客户的认可，有多款高端光刻胶产品分别获得了国内12寸晶圆厂的相关订单，包括 ArF-immersion 产品及ArF-dry，KrF，I-line等。其中，ArF-immersion产品已经适用于28-45nm制程。具体分品类来看：

（1）ArF光刻胶有26款产品，其中ArF-immersion15款，ArF-dry 11款，可应用于14-90nm制程节点；有9款ArF-immersion及ArF-dry光刻胶正在客户端进行产品验证导入量产，品种 类涵盖55nm、40nm、28nm及以下的关键层工艺以及LOGIC，3D NAND，DRAM等应用领域。2022 年以来形成销售的Arf光刻胶有4款。

（2）KrF光刻胶有30款产品，其中，高分辨的KrF光刻胶，最小分辨率可达120nm CD，产品可应用于14nm-180nm制程中；KrF中厚胶，主要为L/S，针对8-12寸抗刻蚀层；KrF厚胶，主要针对高深宽比及高台阶覆盖的应用；KrF负胶，主要针对IC端和器件类特殊工艺应用；有20余款KrF光刻胶正在客户端进行产品验证导入量产，产品种类涵盖55nm、40nm、28nm及以下的关键层工艺以及集成电路、分立器件、传感器等应用领域。2022年以来形成销售的 KrF光刻胶有15款。

（3）I线光刻胶有15款产品，主要为化学放大型光刻胶，相对于传统光刻胶，化学放大型光刻胶具有更高的分辨率、对比度和深宽比。有10多款I线光刻胶正在客户端进行产品验证导入量产，产品种类涵盖高能注入、抗刻蚀等关键层工艺以及PAD、lift-off等应用领域。2022 年以来形成销售的I线光刻胶有12款。

光刻胶是一种对光敏感的混合液体，其主要作用是通过光化学反应，基于曝光、显影等光工序将所需要刻蚀的细微图形从光罩(掩模版)转移到待加工硅基片上。除了提高加工精度，光刻胶还可以保护硅基材免受腐蚀，阻止离子影响。

光刻胶材料是集成电路制造领域的重要关键材料，广泛应用于350nm-14nm甚至 7nm 技术节点的集成电路制造工艺。

目前，随着国内IC行业的快速发展，自主创新和国产化步伐的加快，以及先进制程工艺的应用，光刻胶的用量大大增加。

2022年7月，华懋科技联营企业东阳华芯拟以20亿元投资年产8000吨光刻材料新建项目。

项目规划年产8000吨光刻材料，主要包括ArF光刻胶系列（包含单体和树脂合成）、KrF光刻胶系列（包含单体和树脂合成）、半导体厚膜封装胶、半导体用光敏性聚酰亚胺（PSPI）、PCB油墨、三羟甲基丙烷、三丙烯酸酯等配套试剂。（文：拓墣产业研究 Amber整理）

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