盖泽半导体SiC外延膜厚测量设备顺利交付

日前，华矽盖泽半导体科技（上海）有限公司（以下简称：盖泽半导体）宣布，其自主研发生产的SiC外延膜厚测量设备GS-M06Y已正式交付客户。

GS-M06Y将应用于半导体前道量测，主要针对硅外延/碳化硅外延层厚度进行测量。GS-M06Y设备采用了盖泽半导体自主研发的高精算法、Load Port、控制软件以及FTIR光路系统。

公司自主研发的FTIR光路系统，可快速检测晶圆厚度，实现了扫描速度快、分辨率高、灵敏度高等需求。设备兼容性强，可基于客户需求进行定制化；测量时间更短，精度更高。

据了解，此台设备运用盖泽半导体最新研发的碳化硅外延检测技术，可对碳化硅外延精准测量，是继盖泽半导体9月硅外延检测设备出货后，公司的又一里程碑。

据了解，盖泽半导体不仅突破了SiC外延检测技术，还可实现一代半导体（硅外延6英寸8英寸12英寸）、二代半导体（砷化镓、磷化铟衬底外延4英寸6英寸8英寸）、三代半导体（碳化硅外延4英寸6英寸8英寸、氮化镓外延）、SOI片顶层硅6英寸8英寸12英寸，以及锗硅外延制程工艺中不同的外延层厚度测量。（文：化合物半导体市场 Amber整理）

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