突破“卡脖子”！这个国产第三代半导体缺陷检测设备出货

半导体制造工艺十分复杂，稍有差错都可能影响芯片功效。半导体检测贯穿半导体设计、晶圆制造、封装三大流程，有效的检测可以提高良率、控制成本。

Mars 4410 是碳化硅器件产线中的关键装备，用于对碳化硅衬底片、外延片、腐蚀片的缺陷检测。设计团队经过两年不懈努力，攻克了激光散射、显微成像等光学检测核心关键技术。

Source：中电科风华

设备采用差分干涉相衬、光致发光、暗场等多种检测手段，晶圆检测可与数据分析并行处理，晶圆缺陷可与器件失效相关联，具有低噪声和高分辨率成像、高检测通量、高检出率和准确性等优势，能满足提升 SiC 器件良率的需求。

中电科风华成立于1998年，注册在山西转型综合改革示范区，隶属于中国十大央企军工集团—— 中国电子科技集团有限公司，是中国电科半导体装备领域核心成员单位，是首批国家级创新型企业，国家级“专精特新”小巨人企业，国家第三代半导体技术创新中心（山西）共建单位。

公司与浙江大学、之江实验室、海康机器人开展产学研用深入合作，在半导体、高端装备、电子信息等领域承担了30余项国家级、省部级科技创新项目。产品布局分为半导体显示、半导体检测、光伏新能源、汽车电子、微电子等五大专用生产设备板块。（文：化合物半导体市场 Cecilia整理）

▶关于我们

集邦咨询(TrendForce)是一家横跨存储、集成电路与半导体、光电显示、LED、新能源、智能终端、5G与通讯网络、汽车电子和人工智能等领域的全球高科技产业研究机构。公司在行业研究、政府产业发展规划、项目评估与可行性分析、企业咨询与战略规划、品牌营销等方面积累了多年的丰富经验，是政企客户在高科技领域进行产业分析、规划评估、顾问咨询、品牌宣传的优质合作伙伴。

上下滑动查看