增芯MEMS传感器项目动工 广州再增12寸线

广东积极发产半导体及IC制造业，盼能补足IC设计外制造和封测上的劣势。法新社

半导体产业进入景气寒冬，晶圆厂扩产计划暂缓消息时有耳闻。但相较海外企业举步维艰的景况，国内晶圆厂扩产动作频频。近日，广州增芯12寸微机电系统（MEMS）制造生产线正式动工，该产线也是国内首条12寸先进智能传感器及特色制程晶圆制造产线。

据悉，该产线位于广州市增城区，总占地面积370 亩，其中一期总投资约人民币70亿元，月产量估计2万片，达产后预计年营收约28亿元。按计划，此专案2022年12月开工，2024年上半年通线，2025年底满产，目前已完成设备选型、技术产品导入以及人才引进等相关工作。此专案也已与10家MEMS设计骨干企业签订合作协定，共同定制制程设备、开发特色制程技术，包括但不限于加速度传感器、惯性传感器、磁传感器、基因测试芯片、微流控芯片、矽基麦克风芯片等。

传感器驶入黄金赛道

增芯此12寸产线为MEMS制造生产线专案。MEMS即微机电系统（Micro-electro Mechanical Systems），利用IC制造技术和微机械加工技术，把微传感器、微执行器制造在一块芯片上的微型整合系统。MEMS产品分为MEMS传感器和MEMS执行器两大类。其中MEMS传感器是用于探测和检测物理、化学、生物等现象和信号的设备，而MEMS执行器是用于实现机械运动、力和扭矩等行为的设备。

据Yole预测，MEMS传感器全球市场规模将由2020年的90亿美元成长至2026年的128亿美元，CAGR为6.1%，规模成长迅速背后，传感器产业即将步入下一个飞速发展的黄金时期。过去国内作为全球最大的电子产品生产基地以及工业制造国，消耗全球多数MEMS零件，但国内在MEMS传感器上研究较晚，产业发展远不及市场高需求。但随着歌尔微电子、敏芯微、美新半导体等本土企业成长，国内正加速赶上海外大厂。

跑出「芯」速度 大湾区晶圆制造再添强将

继粤芯、中芯国际、华润微后，广州再次迎来新的12寸产线。此前，广州粤芯12寸类比特色制程生产线已正式启动建设；中芯国际深圳12寸厂也将在2022年完成建设并投产；华润微也已在深圳设立专案公司，新建12寸产线，聚焦40纳米以上类比特色制程。随着此次增芯的动工，广东晶圆制造领域又再添一「强将」。

实际上，半导体及IC产业已成为广东省制造业发展的「重中之重」。2021年8月，广东省正式发布的「十四五」规划中明确提出，届至2025年，半导体及IC产业营收将突破人民币4,000亿元，以广州、深圳、珠海为核心，打造涵盖设计、制造、封测等环节的半导体及IC全产业链。

虽然广东期待甚高，但就数据来看，其在IC产业仍属薄弱。广东省工业和信息化厅总工程师董业民曾表示，广东2020年产值约人民币1,700亿元，2021年逾2,000亿元。若按2020年计算，在1,700亿元产值当中，IC设计业就占1,400亿元，其他的半导体制造业仅200~300亿元。「也就是说，除了设计之外，制造业就是一个零头，而且在这1,400亿元的设计业产值当中，华为海思就占了900多亿元。但随着华为被制裁，去年海思的营收已经不足100亿元。」

因此，增芯产线动工或能补足广东在制造、封测等环节的劣势。另外业界人士表示，大湾区的消费电子、家用电器、汽车等下游应用市场较发达，形成了庞大的智能传感器消费市场，此次增芯MEMS传感器产线的建设，也将加速国内高端智能传感器由国产替代的脚步。

责任编辑：毛履万亿