大基金二期投资这家SiC设备厂！

据了解，烁科中科信成立于2019年6月，由中电48所和北京中科信离子注入机业务战略整合而成，是国内集成电路高端工艺装备的领先企业，主营业务包括半导体器件专用设备的制造。公司总部位于北京市经济技术开发区（通州）光机电一体化产业基地，在长沙设有分公司。

烁科中科信的产品聚焦集成电路主要应用领域，同时涵盖化合物半导体、材料加工制备等领域，已形成中束流、大束流、高能机、特种、化合物半导体等系列化离子注入机产品体系。

目前，烁科中科信已拥有中束流离子注入机、大束流离子注入机、高能离子注入机和定制离子注入机四种产品，构建了较为系统的集成电路离子注入机谱系。

在化合物半导体领域，烁科中科信针对SiC市场，基于中束流离子注入机技术，推出了适用4-6英寸的定制注入机。目前，公司的特种注入机和化合物半导体注入机已出货几十台。

资料显示，离子注入机是集成电路制造掺杂工艺的主要设备，在器件小型化和多样化方面起重要作用，研发难度极大。目前，离子注入机市场主要被美日企业垄断，烁科中科信是国内率先实现向终端客户交付和验收离子注入机的公司，并已承担十五、十一五、十二五离子注入机研发及产业化项目，实现全系列集成电路离子注入机批量应用，产业化能力达到28nm，面向第三代半导体离子注入机实现批量销售。

由此可见，烁科中科信将成为我国实现电子元器件制造工艺装备自主可控的重要力量，助力推动关键装备的国产化替代。当前，烁科中科信已获得大基金二期、中信建投资本、博时资本、中芯聚源等知名投资机构的投资，资金实力将逐步提升，有利于其加快设备研发、技术工艺突破、设备产业化的进程。（文：化合物半导体市场 Jenny整理）

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