万业企业深度报告：集成电路设备订单近11亿，持续加码半导体零部件版图

文｜李正操

图源｜网络

公司看点：1. 凯世通实现离子注入机集成电路、光伏及AMOLED全领域覆盖，首批商业化设备已经逐步顺利交货，今年上半年在手订单超7.5亿元，推动1-N的有效产品转化和市场转化，无国内竞争对手，处于寡头地位，后期该部分业绩有望提速上升。

2. 嘉芯半导体的产品规划思路清晰，前道设备多样化产能建设，打造前道一体化设备交付方案，覆盖刻蚀机、薄膜沉积设备、快速热处理设备等，成立后在手订单超3.4亿元，知名专家行业资源加持，市场前景明朗。

3. 浙江镨芯（Compart Systems），主攻流量控制领域精密零组件，产品覆盖半导体设备的流量控制零部件、组件、密封件、气棒总成、质量流量控制器（MFC）等，拥有多年供应全球龙头半导体设备厂的成熟经验，助力国内半导体设备厂商快速推进核心零组件国产化。

4. 半导体行业的投资金额将不会受到国际经济形势和大国关系的影响，其发展将作为独立于世界经济与贸易发展的特殊发展路径。国内半导体设备和材料的发展将与新能源汽车的发展一样，是稳步上升且不可阻挡的历史大势。

第一部分：万业企业在半导体产业布局的基本情况

集微网报道，上海万业企业股份有限公司（证券简称：万业企业，证券代码：600641）成立于1991年10月，是一家具有新兴产业基因的高科技上市公司，公司聚焦集成电路设备国产化的发展机会，致力于实现关键制程设备及支撑设备本地化研发制造，为汽车芯片、功率芯片、逻辑芯片等集成电路晶圆制造厂提供成套的前道设备解决方案。万业企业起初由上海市陆家嘴金融贸易区开发公司、上海市投资信托公司、中国人民建设银行上海市信托投资公司、中海上海房地产开发总公司四家公司共同发起组建。2015年，浦科投资做为万业企业第一大股东，为公司制定了新的战略目标，而后投入到事关国家战略的集成电路行业，对若干装备和材料龙头进行战略投资，执行“外延并购+产业整合”的半导体产业定位，为中国集成电路产业链的发展而打造成为最完整的装备材料平台公司之一。（浦科投资为我国顶级的科技创投势力之一，曾投资过多家半导体优质企业，包括先进半导体、中微、盛美、澜起、芯源微等，并对展讯通信和锐迪科发出收购要约，成功要约收购澜起科技，收购香港先进半导体等。）

图1：万业企业发展历程

图2：万业企业与控股股东之间的产权及控制关系

近些年来，万业企业从原本的房地产业务加速转型集成电路核心装备平台型公司，完成集成电路前道设备领域以及半导体设备零部件布局。公司在房地产领域主要从事住宅地产的开发，业务范围主要集中在上海、苏州、无锡等长三角区域，主要产品有高层公寓、多层洋房和别墅等；公司集成电路核心装备布局主要有三块：一是子公司凯世通的离子注入机，主要负责研发、生产、销售国际领先的集成电路、光伏及AMOLED领域的中高端离子注入机，技术行业内领先；二是公司于2021年携手宁波芯恩成立的嘉芯半导体，打造刻蚀、薄膜沉积、快速热处理等3-4种主制程核心设备以及多种支撑设备；三是公司于2020年12月牵头境内外投资人收购的全球领先的半导体设备流量控制领域零部件提供商——浙江镨芯（Compart Systems）。考虑到万业企业战略重心主要集中在集成电路领域，下面将着重介绍这三家半导体公司的基本情况。

图3：万业企业在半导体领域控股或参股公司情况

第二部分 万业企业在集成电路核心装备布局

1. 凯世通：研发团队经验丰富，离子注入机实现28nm-7nm的全技术覆盖

2009年凯世通创业伊始，公司最先切入的是离子注入机的零部件、减速器、减速结构、离子源等领域，后来于2012年开发出首台光伏离子注入机。目前凯世通所涉及的设备业务是以离子束技术为核心的集研发、制造于一体的高科技项目，主要任务是研发、生产、销售国际领先的高端离子注入机，重点应用于半导体集成电路、光伏太阳能电池和AMOLED显示屏等领域，营业收入包括自产离子注入机、离子注入平台、离子注入机耗材备件以及产品、服务定制与再制造业务。

离子注入是通过对半导体材料表面进行多种元素的掺杂，从而改变其特性的工艺制程，在集成电路（IC）工业中得到广泛的应用。作为掺杂制程的核心装备—离子注入机，是先进IC生产线上最关键的工具之一，占晶圆厂设备总投资的10%。但是IC离子注入机昂贵的造价和庞大的占地面积，使得离子注入技术在光伏产业上还未普及应用。凯世通根据太阳能电池工艺的实际情况和需求，为光伏产业量身订制了大束流离子注入机。

目前凯世通的技术能力，已经能够满足国内晶圆代工厂所有技术节点的离子注入机需求，尤其是覆盖28nm节点，具有重要的意义。凯世通以离子束技术为核心，持续加大低能大束流离子注入、高能离子注入产品的开发投入，先进制程需要低能大束流，特殊工艺需高能注入机。目前不仅可覆盖含 28 纳米的主流成熟半导体工艺制程；同时着力研制超越 14 纳米制程的 FinFET集成电路离子注入机。随着集成电路芯片工艺制程不断微缩，针对国内外客户先进工艺芯片制造的离子注入需求，凯世通选择“领先一步”的产品定位策略，在“10nm及以下三维器件结构FinFET集成电路离子注入机研发与产业化”科技项目支持下，开发面向前沿工艺的离子注入机，并建立相应的研发平台、核心关键技术及工艺的研究参数数据库和性能检测规范标准。

光伏离子注入机方面，凯世通开发了新一代 iPV6000 光伏离子注入机产品，该机产能较前一代 iPV3000光伏离子注入机基础上再提升 50%。现已完成 iPV6000 产品的验证工作，这将进一步提升凯世通在光伏离子注入机市场的竞争力。

图4：万业旗下凯世通三类产品线

2. 嘉芯半导体：前道设备多样化产能建设，估算达产年产值达2500台设备

作为万业企业打造半导体前道设备集团最重要的“N”，嘉芯半导体待达产后年产2500台/套集成电路设备，所涉及产品范围将覆盖刻蚀机、快速热处理、薄膜沉积、尾气处理等多品类8/12英寸半导体设备，可自主研发和制造刻蚀、薄膜沉积等多类产品，致力于实现关键制程设备及支撑设备本土化研发制造，为汽车芯片、功率芯片、逻辑芯片等晶圆制造厂提供成套设备解决方案。

自2021年四季度运营后，嘉芯半导体快速实现营业收入的突破，累计新增订单金额超人民币3.4亿元，旗下的嘉芯闳扬和嘉芯迦能成功中标设备数量已超20台，品类包括刻蚀、薄膜沉积、快速热处理（RTP）等核心前道设备。

3. Compart Systems：外延并购提升核心竞争力，打造国产设备零部件的完整生态

2020年12月22日，万业企业发布公告称，公司领头境内外财团收购全球领先的半导体设备的流量控制零部件及解决方案提供商Compart Systems。此次收购交易基准价格为3.98亿美元，完成交割后万业企业成为第一大股东。

Compart Systems是全球领先的流量控制系统领域的零部件及组件供应商，也是全球少数可完成该领域零组件精密加工全部环节的公司，现由浙江镨芯和镨芯控股作为其持股主体。其主要产品包括BTP（Built To Print）组件、装配件、密封件、气棒总成、气体流量控制器（MFC）、焊接件等，产品用于集成电路制造工艺中氧化/扩散、蚀刻和沉积等设备所需的精确气体输送系统，同时是全球少数可提供气体流量控制器（MFC）组装的公司。在半导体设备制造中，关键的零部件大致可分为5个类别，包括真空泵，RF电源，硅片传送，气体与液体控制等，Compart就是其中最为核心的流量控制系统供应商之一。Compart Systems也可为工业、航空航天、石油天然气领域客户提供包括高精度金属加工部件、流量控制传感器、控制阀组件等产品。

目前，Compart Systems总部位于新加坡，在中国深圳和马来西亚库林分别设立工厂，全球拥有约1400名员工，其灵活的产能布局和全球化的销售体系为客户提供了多样的交货渠道选择，Compart Systems的客户主要为知名的设备制造商和领先的工业企业集团等。收购完成后，Compart Systems国内市场开拓持续推进，将助力国内半导体设备厂商快速推进关键核心零组件的国产化进程。2022年5月，大基金二期向浙江镨芯增资3.5亿元。

第三部分 万业企业半导体业务开展情况

2021年，万业企业整体实现营业收入8.80亿元；实现归属于上市公司股东的净利润3.77亿元，同比增加19.42%；集成电路设备收入1.23亿元，同比增长464.83%。2022上半年，集成电路设备制造业务收入同比增长150.86%，2022年初至今在手订单近11亿元。公司半导体收入快速成长，在手订单饱满，公司营收以及订单有望迎来持续高增长。

图5：万业企业2018-2022H1营收基本情况（万元）

2018年-2020年，凯世通实现营业收入1.08亿元、0.83亿元、0.21亿元，呈现大幅下降的趋势，主要原因是凯世通处于产品战略转型升级推动阶段，团队集中力量进行集成电路离子注入机的研发制造。凯世通在 2021 年上半年转亏为盈，实现营收和净利润分别为 0.35 亿元、200 万元，主要因为2021 年上半年凯世通在设备验证、产品交付和订单签署等工作都取得显著进展，其自主研发的首台低能大束流离子注入机完成设备验证工作并确认销售收入。

2022年上半年，凯世通设备产品的综合表现持续提升，获得了客户的重复采购和批量订单。

2022年Q1，凯世通获得一家重要客户的批量订单，包含12英寸低能大束流离子注入机和低能大束流超低温离子注入机，并与一家集成电路制造厂签订了1台低能大束流离子注入机订单。2022年Q2，凯世通获得第三家集成电路制造工厂的3台低能大束流离子注入机订单。

2022年至今，万业企业获得集成电路设备在手订单近11亿元，其中凯世通H1获得3家客户多台离子注入机在手订单超7.5亿元，业务正式进入放量期。截至目前，凯世通研发制造的多款IC离子注入机设备，包含低能大束流离子注入机、低能大束流重金属离子注入机、低能大束流超低温离子注入机和高能离子注入机，均已相继通过12英寸主流晶圆厂客户的验证及验收。

嘉芯半导体自2021Q4正式运营后，截止21年底已取得相关设备产品的销售收入突破。2022年7月以来嘉芯半导体获得成熟晶圆厂的特色工艺产线多款设备订单，包括快速热处理（RTP）设备、氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机、高密度等离子薄膜沉积设备及二氧化硅等离子薄膜沉积等多种设备，嘉芯闳扬和嘉芯迦能均为嘉芯半导体控股子公司，近期中标多款设备，标志着嘉芯半导体已经步入快速发展期，公司从离子注入机顺利往更多前道设备品类拓展，半导体装备平台逐步完善。

2021年浙江镨芯（Compart Systems的收购主体）实现营业收入9.2亿元，净利润为1.01亿元。2017-2019 年，Compart Systems 实现营业收入 9637、8227、7571 万美元。公司致力于持续开拓国内市场，其相关产品进入另一全球顶级半导体设备公司的供应链，并有望于今年下半年释放更多订单。2022年上半年，公司参股公司浙江镨芯营业收入为5.04亿元，同比增长13.83%。

第四部分：万业企业设备产品市场

根据本土主流12英寸晶圆厂最新统计数据透露，预计现有规划的本土晶圆产线扩产资本开支中，离子注入机占晶圆加工设备的比重已近10%，价值比重不断攀升。目前离子注入机的市场份额高度集中，主要被国外公司垄断。美国应用材料公司、Axcelis占据全球大部分IC离子注入机的市场份额，其中美国应用材料公司占50%以上，Axcelis的主要产品高能离子注入机市占率为55%。

图6: 世界离子注入机行业领先企业图示

凯世通主要专注于低能大束流离子注入机和高能离子注入机，这两类离子注入机分别能覆盖离子注入机全球整体市场需求的 61%和 18%（数据来源：Gartner）。目前公司已经具备了不逊色于进口设备的能力，其中公司的低能大束流离子注入机所覆盖的特征线宽、注入能量、注入剂量、最大产能等指标与国外主流同类产品已经基本相同，并且注入束流为国外主流产品的将近两倍。

目前，万业企业旗下凯世通的离子注入机已供货国内主流的12英寸晶圆厂并成为其战略供应商。在凯世通产能完全释放的前提下，受益于国内主流客户认可的批量采购战略供应商认可度，同时受益于与全球知名半导体产业专家良好的合作伙伴关系，万业将在半导体前道设备国产化的浪潮之下，在离子注入机方面形成国内一枝独秀的行业格局，其未来3-5年在离子注入机订单的成长空间将会来自中芯国际、积塔半导体、华虹半导体、士兰微、华润微、长江存储、长鑫存储、粤芯等厂商的产能扩张。

嘉芯半导体总投资约20亿元，预计后续订单体量还将逐渐稳定增长。根据公司和嘉善县西塘镇人民政府签订的投资协议，未来将达年产2500台/套设备,新设备占到95%以上。目前，嘉芯半导体运营情况良好，自去年成立后即租用厂房进行设备的研发和制造，预计随着项目厂房及人才逐步到位，将更好赋能公司构建“1+N”产业链模式。根据目前嘉兴半导体中标情况来看，嘉芯半导体设备正在完成多个设备品类打入国内主流晶圆厂供应链的突破，夯实了“1+N”战略落地，持续满足本土晶圆厂的高需求，公司有望成为国内未来前道核心设备产品最为丰富的平台之一。同时，2021年公司竞得浙江省嘉善县109亩国有建设用地使用权，目前嘉芯半导体研发及制造基地正在建造中。

浙江镨芯（Compart Systems） 是半导体设备流量控制领域的零部件及解决方案龙头企业。由于在集成电路领域中化学气体产品存在其特殊性，集成电路设备中氧化/扩散、蚀刻和沉积工艺需要用到精确的气体输送系统，因此对气体的纯净及安全性要求极高，任何故障都会导致不可估量的损失，只有使用经特殊处理的材料和零件，才能保证气体传输系统的稳定，保证生产过程的纯净度与安全性，以确保工艺纯度和提高安全性。在全球行业地位方面，Compart Systems 的 K1S 及 C-Seal 产品位居气体传输系统表面贴装行业的龙头地位，并且拥有下一代产品 iBlock 及 Ultra-Seal 生产专利，引领行业向革新性的技术前沿发展。

从国内市场来看，大陆晶圆产能扩张速度快于全球平均水平。根据 IC Insights 数据，截止2020年12月，中国大陆晶圆产能为318万片/月（折合8寸），在全球占比为15.3%，随着半导体制造硅晶圆产能持续向中国转移，预计到2025年产能占比将增加至18%，国内晶圆产能的快速增长将带动国产设备需求大增，万业企业的装备平台化布局有望受益于行业景气上行。

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