半导体制造产能扩张，设备零部件需求旺盛

近年来国内半导体制造产能不断扩张，半导体设备厂商加速成长。中金公司分析称：下游发展将拉动上游本地化配套需求，半导体设备零部件迎来高增长阶段。

中金公司认为，半导体设备零部件包含密封圈、EFEM、射频电源、静电吸盘、硅电极、真空泵、气体流量计、喷淋头等产品，可分为机械类、电气类、机电一体类、光学类等类别。结合芯谋研究，中金公司测算2020 年全球半导体设备零部件市场规模200-300亿美元，其中机械类零部件价值占比最大。

半导体设备零部件存在一定技术壁垒，要求相关企业具备精密加工、表面处理等能力，认证过程也较为复杂。尤其是在机械手、真空规、部分光学类零部件等领域，国内企业和海外头部企业仍然存在显著的技术差距。

近年来，国内企业在钣金件、金属件、腔体等机械类零部件领域已经完成了一定程度的国产化，我们测算其国产化率超过50%，部分企业甚至进入海外头部厂商供应链。但海外半导体设备零部件厂商凭借先发优势依然在全球零部件市场领域占据主导地位，一些领域零部件的国产化率仍低于10%。

晶圆厂需采购石英件、射频发生器、泵等随高强度生产易损耗的零部件进行替换，这部分零部件以机械类为主。根据芯谋研究，2020年全球晶圆厂采购零部件约100亿美元，其中内资晶圆厂约4.3亿美元。中金公司认为随着近年来产能高速扩张，国内晶圆厂采购用作替换的零部件金额也将增长。

设备厂在制造的过程中既需要采购泵、阀、机械手等偏标准化的零部件，也需要采购钣金件、金属件、腔体等偏定制化的零部件，涉及机械类、电气类、机电一体类等诸多类别。中金公司结合SEMI等数据测算出2020年全球设备厂采购零部件金额约200亿美元，其中国内设备厂约70亿元。中金公司认为国内设备厂的崛起，一方面将进一步带动国内已具有生产能力零部件的需求增长，另一方面为摆脱部分零部件进口依赖度较高的局面创造了有利条件。

来源：中金公司

半导体湿电子化学品与电子气体论坛2022将于2022年4月14-15日在无锡召开。会议由亚化咨询主办，多家国内外龙头企业重点参与。

会议初步日程：

会议日程

碳氟类气体的需求及发展趋势

——广东华特气体股份有限公司（已定）

G5级硫酸在先进12英寸晶圆制造中的用量及发展趋势

——苏州晶瑞化学股份有限公司（已定）

标题待定

——河南聚氟兴新材料科技有限公司（已定）

标题待定

——安捷伦科技（中国）有限公司（已定）

标题待定

——杭州科百特过滤器材有限公司（已定）

光刻胶配套化学品

——江阴江化微电子材料股份有限公司（已定）

半导体中的氟化工

——多氟多化工股份有限公司（已定）

高纯二氧化碳的纯化

——大连保税区科利德化工科技开发有限公司（已定）

电子级硫酸的生产工艺及生产用低温蒸发纯化吸收

——聯仕（昆山）化学材料有限公司（已定）

FAB厂对半导体材料的需求探讨

——杭州士兰微电子股份有限公司（邀请中）

28nm及以下节点硬掩模蚀刻残留物去除技术

——安集微电子（上海）有限公司（邀请中）

电子大宗气国产化

——宏芯气体（上海）有限公司（邀请中）

半导体用高纯NF3和SF6的市场及应用

——山东飞源气体有公司（邀请中）

锗烷的生产及在半导体制造中的运用

——福建博纯材料有限公司（邀请中）

…………

推广方案

项目

项目内容

主题演讲

25分钟主题演讲

参会名额

微信推送

“半导体前沿”微信公众号，企业介绍以及相关软文

Logo展示

背景墙 logo，会刊封面logo

会刊广告

研讨会会刊，彩色全页广告（尺寸A4）

资料入袋赞助

企业的宣传册放入参会袋子

现场展台

现场展示台，展示样品、资料，含两个参会名额

易拉宝

现场1个易拉宝展示

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挂有企业标识的胸带

参会证赞助

挂有企业标识的胸牌

礼品赞助

印有赞助商logo的礼品，用于赠送参会听众

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徐经理

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