国产光刻机真的这么厉害吗？这些光刻机知识您得知道

近日，中科院研制的“超分辨光刻装备”通过验收。消息传着传着，就成了谣言——《国产光刻机伟大突破，国产芯片白菜化在即》《突破荷兰技术封锁，弯道超车》《厉害了我的国，新式光刻机将打破“芯片荒”》……笔者帮您们捋一捋！

关于光刻机，这些知识您得知道

光刻机不光是制造芯片用。一张平面（不论硅片还是什么材料）想刻出繁复的图案，都可以用光刻——就像照相，图像投在感光底片上，蚀掉一部分。半个多世纪前，美国人用这个原理“印刷”电路，从而有了大规模集成电路——芯片。为了节能和省硅料，芯片越做越小，逼得光刻机越做越极端。线条细到一定程度，投影就模糊了。要清晰投影，线条粗细不能低于光波长的一半。顶尖光刻机用波长13.5纳米的极紫外光源，好刻10纳米以下的线条。但稳定的、大功率的极紫外光源很难造，一个得3000万元人民币。要求工作环境严苛，配合的光学和机械部件又极端精密，所以荷兰的ASML公司独家垄断极紫外光刻机，创造了“一台卖一亿美金”的神话。

一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。光刻机，可以说是我国目前还需要进行大力研发的核心科技之一。由于光刻机涉及到的工艺过于复杂和高端，虽然我国一直在做出努力，但依然是很难与世界上的一流企业相比肩。光刻机可以说得上是世界上最难以掌握的现代工业之一了，所以光刻机也被称为现代光学工业之花。

光刻机到底是什么首先我们来看看什么是光刻机。光刻机主要用于芯片的生产，芯片在现代人生活中的作用恐怕没有人不会不知道的。手机、电脑等等的电子设备，离开了芯片就是一堆破铜烂铁，所以没有了光刻机，就制造不出芯片，没有芯片，也就没有手机和电脑。

光刻机的制造难度高

在全世界范围内，能够做出光刻机的公司只有少数几家。而且，目前来说，全世界能生产出最先进的光刻机的企业只有一家——ASML。光刻机所属的半导体加工业，目前基本属于荷兰和日本所垄断。荷兰有ASML，日本则有尼康，这两家都是生产光刻机的公司。但是。ASML在光刻机的市场份额上占据了八成之多，这是日本尼康公司所不能比拟的。

那么，为什么说ASML是世界上最赚钱的公司呢？首先，ASML公司总市值达到了将近900亿美元，在全球的半导体设备商中排名第一。ASML公司一共拥有员工一万六千多人，其中有研发人员六千人以上，也就是这一万六千多人，研发出了世界上生产性能最稳定的最高精度的光刻机。

这种最顶尖的光刻机，只属于ASML，其它企业根本没有办法做出来。现在世界上最顶尖的光刻机是EUV光刻机，也就是极紫外线光刻机。这种光刻机，属于ASML公司独家垄断，所以这一家荷兰公司将每一台光刻机都卖到了一亿美元以上。但就算ASML公司将每一台光刻机都打出了天价，但其产能还是会在生产之前就被预定一空。其中，向ASML购买光刻机的公司包括英特尔、三星和台积电等等的国际芯片大厂。

国产光刻机品牌

位于我国上海的SMEE已研制出具有自主知识产权的投影式中端光刻机，形成产品系列初步实现海内外销售。正在进行其他各系列产品的研发制作工作。生产线和研发用的低端光刻机为接近、接触式光刻机，分辨率通常在数微米以上。主要有德国SUSS、美国MYCRO NXQ4006、以及中国品牌。

在2018年的第一季度，ASML的营业额大幅上涨，虽然说这都是通过出售DUV光刻机的结果，最新的EUV光刻机还没有生产制造完成，目前只制造完成了三台。但是，ASML还是计划在2018年生产二十台EUV，2019年则生产三十台EUV。在今年，中国的芯片加工企业——中芯国际也向ASML首次订购了最先进的EUV光刻机，这台光刻机的售价就高达1.2亿美元，换算之后相当于七亿人民币。虽然我国在光刻机的研发方面与国际水平存在不小的差距，但相信这一次对于EUV光刻机的购买，有助于推动中国半导体方面的研发进程，中国在芯片行业也会扮演一个越来越重要的角色。