EUV微影技术推动2019年光学子系统供应商表现突出

尽管2019年全球半导体设备销售额下滑10.5%，但由于主要晶圆制造业者为争夺在先进制程市场中的领导地位，而积极采用极紫外光(EUV)微影技术，使得光学子系统(optical subsystem )供应业者营收逆势成长，其中尤以蔡司(Zeiss)营收表现最为突出。

半导体调研机构VLSI Research最新资料显示，在EUV微影设备，尤其是光学镜片的拉抬下，2019年蔡司整体关键子系统(critical subsystems)营收强劲年增9.5%，续为全球最大的半导体与相关制造业关键子系统供应业者。相较而言，全球整体市场规模下滑了11%。

蔡司2019年全球市占也攀升2.6个百分点，成长幅居前十大业者之冠。而在前十大业者中，除蔡司、Edwards、荏原制作所(Ebara)市占成长外，其余业者市占都呈现下滑。尤其是万机科技(MKS)下滑1.2个百分点，幅度最高。合计2019年前十大业者共占整体市场49.3%，略较2018年下滑。

VLSI Research表示，由于晶圆制造业者希望尽快将EUV微影技术导入大量生产，因此在半导体市场低迷时期，仍然持续进行投资，这使得EUV子系统和组件供应业者能够大幅降低广泛产业衰退所带来的影响。