加速半导体核心材料国产化，韩国开发高纯度氯化氢！

韩国近期成功将半导体核心材料之一的高纯度氯化氢国产化，预计将成为强化韩国半导体材料产业生态系、脱离仰赖进口的契机。ET News引述业界消息，三星电子(Samsung Electronics)及韩国白光产业(Paik Kwang Industral Co Ltd)实现高纯度氯化氢国产化，目前正在进行质量检测，最快有望于2021年上半批准。

高纯度氯化氢是清洗半导体晶圆或蚀刻制程中，作为蚀刻液使用的材料。随著高性能系统半导体的成长，拉抬高纯度氯化氢的使用量。然高纯度氯化氢大部分仰赖海外市场，目前由日本东亚合成(Toagosei)及德国林德(Linde)一统天下。虽然也有韩国业者部分商用化的案例，但考量质量问题等，难以减少对海外市场的依赖。

2019年，日本限制半导体、面板材料出口后，促使韩国在材料、零件、设备领域展开国产化及多元化作业。白光产业相关人士表示，三星正在进行质量检测，虽然结果尚未出炉，但已做好量产及供给准备。日本祭出的一系列措施，引发三星、SK海力士(SK Hynix)、乐金显示器(LG Display；LGD)等企业重组核心材料供应链。

三星向KCTECH、LOTVacuum、MiCo、New Power Plasma、FST等投资，积极强化半导体材料、零件、设备产业生态系，而SK Materials成功国产化氟化氢(HF)气体等。

在半导体产业中，即使成功开发材料、零件等，也需要进行缜密的质量验证，会耗上不少时间。业界人士表示，目前日韩关系依然紧张，对半导体业界来说，供需多元化和强化供应链极为重要，因此将持续推进国产化，同时也似乎成为韩国当地产业发展的机会。

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