华海清科12英寸大束流离子注入机实现批量交付

近日，华海清科通过官方微信宣布，其全资子公司芯嵛半导体（上海）有限公司自主研发的12英寸大束流离子注入机已批量交付国内多家集成电路制造领先企业。

据公司介绍，华海清科的离子注入设备在性能上表现出色，其最新一代大束流离子注入机在置换率等关键指标上已与国际顶尖竞争对手持平。设备具备高稳定性与高工艺适配性，能够充分满足先进制程对离子注入均匀性与精准度的严格要求。目前，该系列设备已通过多家客户的验证，并以优异的综合性能获得高度认可，重复订单的签订进一步彰显了其市场竞争力。

华海清科的产品线覆盖逻辑芯片、存储芯片、功率半导体、CIS（图像传感器）及硅片制造等多个领域，满足多样化的工艺需求。