据悉,位于北京经济技术开发区兴光二街6号的离子注入机科研生产条件建设项目,是支撑该技术攻关与产业化发展的重点工程。该项目主要新建一栋装备生产厂房及相关配套设施,旨在满足工艺试制、设备研发以及科研生产保障的空间需求。
在研发体系方面,该项目计划依托中电科电子装备集团有限公司旗下的北京中科信半导体股份有限公司。通过搭建具备国际先进水平的中试研发平台及规模化生产线,项目将开展全谱系新型离子注入机的技术开发、核心模块的迭代升级以及整机的批量生产工作。
在施工进度上,该项目的1.5万平方米地下两层主体结构已完成最后一方混凝土浇筑,顺利突破正负零节点。目前工程已全面转入地上主体结构施工阶段,并全力冲刺今年8月底实现主体结构封顶的目标。项目落成后,预计可实现每年150台离子注入机的产能,产品矩阵将覆盖大束流、中束流、高能机、碳化硅以及特种机等全系列机型。