近日，深圳稳顶聚芯技术有限公司（简称“稳顶聚芯”）宣布，其自主研发的首台国产高精度步进式光刻机顺利出厂。这款光刻机属于WS180i系列，主要应用于mini/micro LED光电器件、光芯片、功率器件等化合物半导体领域，可满足硅片、蓝宝石、碳化硅等衬底的多种光刻工艺需求。
据公开资料显示，稳顶聚芯WS180i系列覆盖2~8英寸晶圆，分辨率范围为1.5μm~0.35μm。该系列产品具有多项技术优势，包括强工艺适应性、高产率、高套刻精度和大焦深。具体来看，其支持大翘曲片处理及多种材质基底，配备高照度照明系统和高速传输平台，能够实现高效生产。此外，其套刻精度达到100nm左右，具备国内行业“四个唯一”的特点，包括唯一正向研发、唯一前道工艺国产化等。
稳顶聚芯还开发了多种半导体装备，如套刻及关键尺寸光学量测设备（量测精度10nm）、超精密光学成像质量评价系统、高性能主动减震系统等。这些产品共同构成了其在半导体装备领域的完整产品矩阵。
稳顶聚芯成立于2023年5月，位于深圳南山区，是一家专注于半导体核心装备研发、制造与销售的高科技企业。公司核心团队85%以上具有国内外知名大学研究生学历，技术背景涵盖激光物理、光学、运动控制等多个领域。目前，公司拥有2000多平米的研发及生产厂房，具备年产20台光刻机的产能，预计2025年实现营收1.4亿元。
