国产离子注入机崭露头角，万业企业展示创新实力

在近期落幕的SEMICON China 2025展会上，万业企业旗下的凯世通离子注入机尤为引人注目。离子注入机作为高端半导体设备，其研发难度仅次于光刻机，长期以来被国外厂商垄断。凯世通作为国内少数几家离子注入机厂商之一，近年来在技术突破和产业化方面取得了显著进展。

据全球半导体观察报道，凯世通展示了全系列集成电路离子注入机产品矩阵，涵盖低能大束流、高能离子注入机等设备。这些产品在离子源、晶圆传送、颗粒污染物控制等关键技术上实现了持续升级，获得了晶圆厂客户的广泛认可。

图源：凯世通

凯世通的技术突破不仅体现在国产超低温离子注入机的产业化上，还成功完成了新机型CIS离子注入机的验证验收，填补了国内空白。公司透露，自2020年首台订单突破以来，已累计收获近60台12英寸离子注入机订单，总金额超14亿元，服务了十余家重点芯片制造企业。