凯世通半导体成功交付首台超低温离子注入机

万业企业旗下上海凯世通半导体股份有限公司近日宣布，公司已向一家新签集成电路战略客户成功交付了一台超低温离子注入机，这是继向该客户交付首台低能大束流设备后的又一重大进展。今年以来，凯世通已累计交付20余台高端离子注入机，服务11家12英寸晶圆厂客户。

超低温离子注入工艺对于晶圆预非晶化处理至关重要，能有效减少晶体缺陷、降低漏电流，提升晶体管性能。凯世通通过自主创新，攻克了超低温晶圆冷却及回温技术、颗粒污染控制技术等一系列关键技术，研制出的超低温低能大束流离子注入机能够在零下100℃下进行预非晶化离子注入，具有高可靠性和高均匀性，满足主流晶圆厂的量产需求。

离子注入机作为芯片制造的关键装备，凯世通致力于为集成电路行业客户提供性能先进、稳定可靠的设备与技术解决方案。公司通过不断的技术创新与产品迭代，获得了国内主流晶圆厂客户的广泛认可与好评，并多次获得复购订单，成功拓展新客户。