11.7亿！微导纳米建设半导体薄膜设备智能化工厂

近日，微导纳米宣布拟向不特定对象发行可转换公司债券，目标募集资金总额不超过11.7亿元。扣除发行费用后，资金将用于半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设、研发实验室扩建及补充流动资金。

首先，智能化工厂建设项目预计耗资6.7亿元，其中6.43亿元将来源于此次募集资金。项目旨在建设先进的生产车间，购置最新的生产和量测设备，以提高薄膜沉积设备的生产能力。该项目主要生产半导体领域的iTomic和iTronix系列设备，涉及原子层沉积（ALD）和化学气相沉积（CVD）两大类技术。

微导纳米在薄膜沉积设备研究领域积累了多年经验，已形成以ALD技术为核心，涵盖多种真空薄膜技术的产品体系，应用于逻辑、存储、新型显示（如硅基OLED）和化合物半导体等多个领域。

这一举措将极大地拓展微导纳米的产品工艺技术范围，并对现有的iTomic和iTronix系列设备进行技术升级。通过优化设备占地、产能和成本，公司计划开发并量产更加先进的工艺技术，保持市场竞争力。

通过这些战略性投资，微导纳米不仅能提升技术水平和产品质量，还将巩固其在全球微纳技术解决方案装备制造领域的领先地位。