Kirin 9000S实现了重大突破?美国限制出口ArFi光刻机,填补了7nm芯片生产的漏洞。
来源:ictimes发布时间:2023-10-202826浏览
询问 AI最近,美国再次升级了半导体出口禁令,针对一系列半导体产品和设备发布了更严格的规定。这些规定包括对AI芯片、一些消费级GPU显卡以及NVIDIA根据去年的禁令在中国大陆市场发布的经过修改的H800和A800芯片的禁止销售。
此外,对于半导体设备,尤其是光刻机,美国再次提出了新的要求,特别是关于深紫外光刻设备(DUV)的规定。根据这些规定,波长为193nm,分辨率小于45nm的DUV设备只有在套刻精度的DCO值小于等于2.4nm的情况下才能销售,否则需要获得许可证。
目前,ASML公司出售的所有浸润式光刻机,包括最古老的型号NXT:1980Di,其波长为193nm,分辨率为38nm,而DCO值为1.6,因此符合去年的禁令,但根据今年的规定,无法再销售。
为何美国政府会特别针对这类光刻机呢?其实,并不是特意瞄准某一款设备,而是制定了一般性的规定,针对所有浸润式光刻机。这是因为几乎所有全球销售的浸润式光刻机都具有DCO值小于2.4nm,因此根据这一规定,它们都无法再销售。
为什么要针对浸润式光刻机呢?原因非常简单,这是为了弥补之前可能存在的技术漏洞。浸润式光刻机虽然使用波长为193nm的深紫外线,但通过水的折射,等效波长降低至134nm。结合多重曝光技术,这种设备最多可以生产出7nm的芯片。前不久,备受关注的一款芯片(可能是指HSMC 9000S),据信采用了浸润式光刻机和多重曝光技术制造。
去年,美国政府试图将中国的芯片制造技术锁定在14nm工艺水平,因此实施了严格的出口禁令。然而,他们没有考虑到光刻机可能存在的漏洞,例如ASML公司的NXT:1980Di这种设备,通过多重曝光技术确实可以生产出7nm芯片,这一工艺被台积电的首个N7工艺采用。
对于美国政府来说,他们不愿意看到这种情况发生。因此,他们采取了限制措施,不管是哪家公司代工,只要能够封堵这一漏洞,即浸润式光刻机无法购买,那么7nm芯片的生产就会受到限制。
未来,这可能会对半导体产业产生影响。虽然目前国内拥有许多浸润式光刻机,可以继续使用,但由于可能无法再购买新的设备,未来可能会受到较大影响。因此,自主研发和技术突破对国内半导体产业将变得更加重要。
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