长鑫存储”晶圆循环时间的确定方法和装置“专利获授权

集微网消息，天眼查显示，长鑫存储技术有限公司”晶圆循环时间的确定方法和装置“专利获授权，授权公告日为10月3日，授权公告号为CN113536572B。

图片来源：天眼查

专利摘要显示，本申请实施例提供一种晶圆循环时间的确定方法和装置，获取多个站点的机台的实际生产数据，根据多个站点的机台的实际生产数据，建立随机数表，该随机数表中包括各机台的样本数据，样本数据包括晶圆的处理时间、机台宕机概率、宕机修复时间和随机数区间，使用Monte Carlo算法和随机数表，模拟晶圆在各种机台组合下的生产过程得到模拟器，模拟过程中晶圆经过每个机台时生成的随机数属于随机数表中的随机数区间，随机数用于选择机台的状态，将机台组合、晶圆数量以及模拟次数输入模拟器，得到晶圆的循环时间。

据悉，该方式能够准确的模拟出晶圆的循环时间，且针对任何机台组合、晶圆数量以及模拟次数均能够得到晶圆的循环时间，应用更加灵活。（校对/刘沁宇）