Greene Tweed推出Chemraz G57弹性体

其等离子体耐受性较强，污染极小，可提高晶圆加工良率

Greene Tweed是一家密封解决方案和工程部件制造商，该公司宣布推出Chemraz G57，Chemraz G57是一种全氟弹性体，由Gthe公司开发，旨在满足侵蚀性干等离子体系统和其他要求极高的半导体制造密封应用的需求。

Chemraz G57全氟弹性体配方的等离子体耐受性较强，污染极小，可缩短故障停机时间，并提高晶圆加工良率。Chemraz G57主要适用于静态和动态氧化物蚀刻晶圆加工应用，在高达572°F / 300°C 的工作温度下仍保持稳定。

Chemraz G57的化学兼容性高，化学耐受性广，适用于各种密封应用，包括端点窗口、钟罩密封件、阀门密封件、KF管线接头密封件、窗口密封件、隔离阀密封件、盖密封件、进气密封件、阀门密封件、反应槽密封件。

2023年6月，Greene Tweed宣布在韩国设立新制造工厂，扩大Chemraz FFKM产品线的产能，满足半导体行业不断增长的需求。