荷兰堵死管制漏洞 已装机、未交货高端DUV都列管

从2023年9月起，荷兰制造商ASML将不再被允许向国内出口某些特定机种的高端DUV微影设备，荷兰外贸大臣Liesje Schreinemacher日前在公告此项新规后，也同时在荷兰政府公报《Staatscourant》上，发布一份技术文件，概述需要向当局取得出口许可证的详尽规格。

外媒引述Schreinemacher的谈话表示，这项管制新规将专门适用于少数公司和特定产品型号，她更强调，该计划解决当前政策下「最重要的漏洞」，同时也将尽可能不扰乱全球芯片生产。

Schreinemacher受访时还指出，除了管制尚未交货的高端DUV系统，必须申请许可外，对于已经在客户端导入生产、正在运行的DUV设备，荷兰企业在替客户进行维修之前，也必须向政府取得许可，方可放行。

此举看齐美国拜登政府（Biden Administration）2022年10月间强化半导体出口管制措施，将美裔技术人才撤出国内晶圆厂支持，包括应材（Applied Materials）、科林研发（Lam Research）等美系设备业者在内；如今，荷兰政府也要求ASML比照办理。

ASML在荷兰政府公告后第一时间释出的声明表示，公司预计由于这些出口管制法规，ASML需要向荷兰政府申请其最先进的浸润式DUV微影设备（TWINSCAN NXT:2000i和后续浸润式机种），所有出货的出口许可证。

ASML也指出，荷兰政府将决定是否授予或拒绝所需的出口许可证，并就任何适用条件向该公司提供进一步的详细信息。在此同时，ASML的EUV系统销售已经受到限制，至于其他ASML系统的出货，则不受荷兰政府控制。

金融时报（FT）引述Jefferies分析师Janardan Menon表示，管制新规与荷兰政府3月宣布加强管制计划后的预期基本一致，他指出，「大多数国内业者已经将所有订单」转为能够获准出货国内的ASML设备。

然而，尽管ASML对于中厂已下订、未交货的高端DUV系统，能够转为其他许可机种，甚或也有中厂此前即已低调抢购，尽量囤积可能遭到列管的DUV设备，但荷兰政府此番新规解决的「管制漏洞」，传出也包括已经在国内晶圆厂装机完成、进入投产的ASML系统。

荷媒NL Times报导指出，对于ASML必须在中厂进行机器维修维护等任务前，该公司还必须向荷兰政府申请维护已导入使用机器的许可证。

对此，荷兰外贸大臣Schreinemacher强调，企业每一次提出机器维护申请，当局都会根据具体情况，考虑是否可以进行维护。

诚然，从2019年美国川普政府时代，说服荷兰政府禁止ASML向国内业者交货EUV微影设备后，透过多重曝光等各种技术深化后，高端浸润式DUV系统再加上沉积设备助攻，仍使中厂在技术上，能够向下推进10纳米、甚至7纳米芯片生产。

如今，荷兰政府2023年强化收紧后的半导体设备出口管制，不仅延伸至列管ASML高端DUV系统，甚至连ASML服务已装机客户的维护维修服务，也需向荷兰政府申请许可，也让即便到手关键微影设备的国内半导体业者，在某种程度上仍受到掣肘。