可持续发展（暨绿色厂务）论坛探讨半导体工厂如何绿色创新

中国拥有最大半导体市场，正快速新增成熟技术产能，预测全球份额由2022年的22%增加到2026年的25%，达到每月240万片晶圆。而可持续发展（暨绿色厂务）论坛重要价值就在于，以全球产业领袖和专家的视角，向与会者及产业界分享半导体工厂设计、建造、管理应用中的绿色创新解决方案。

可持续发展（暨绿色厂务）论坛是SEMICON China 2023的首个论坛，SEMI全球副总裁、中国区总裁居龙先生在开场致辞中用“寒潮弥昧待春暖，长风破浪会有时”与诸位真芯英雄共勉。目前半导体产业正处于下行衰退周期，但半导体作为周期性行业，前景依旧十分乐观。SEMI是一个坚持本地化、专业化、市场化、全球化的中立舞台，主张自由贸易、开放的市场、知识产权保护和合作共赢，目的在于促进产业交流和全产业链合作。如今，碳排放、环境污染带来的气候变化给人类生态文明带来了重大考验，可持续发展是SEMI始终重视且坚持推进的议题。

论坛由柏诚系统科技股份有限公司董事、资深高级副总经理和总工程师沈进焕先生全程主持。

富士康（鸿海）科技集团副总经理洪荣聪以《微电子芯片厂运营之可持续创新与趋势》为主题，讨论在绿色转型背景下，微电子厂该如何有效、可持续性地发展运营。随着先进制程的复杂度提高，单位面积的耗水量、产生废弃物量相应大幅上升。当前水资源、生产废液废物资源化、生产废气的既有处理工艺已经无法达到不断提升的排放标准，衍生问题仍在为行业不断带来新议题。洪荣聪指出Fab厂必须要抓住绿色转型机遇，把握低碳可持续的大方向，发掘自我优势，寻找所处环境下的最佳立足点，最终建立具强韧性及可持续性的FAB Operation。

英特尔半导体（大连）有限公司施工项目事业部总监Li Peng分享了《标准化流程在施工安全中的应用》，探讨如何通过流程和制度实现施工安全。厂务靠施工实现，而施工安全最重要，Li Peng通过实际案例，展示了15年间安全绩效不断提升的过程。他表示，安全是一切业绩的基础，英特尔大连工厂始终将工人的安全与感受放在首位，基于企业自身的安全文化和安全管理，建立了全套的标准化流程。Li Peng称，只有在满足安全绩效的情况下，工厂的效率才能达到最佳状态，绿色厂务需要施工安全来作保障，希望与各位业界同仁互相交流、互相提升。

施耐德电气（中国）有限公司数字能效首席架构师曹琳琳带来了题为《电子厂房绿色厂务全生命周期之实践》的演讲，从自身角度出发，施耐德始终坚持“安全可靠、高效管理、绿色可持续”的黄金三角型理念。电力数字孪生及一体化电气运管维平台，能够解决生命周期的可靠性、韧性以及在电能质量方面的挑战。遵循“14421”方针，助力厂务人员实现管理的透明高效，以“电气数字化+厂务智能化”融合促绿色厂务管理。曹琳琳指出，对于半导体工厂而言，通过完整的数字化系统建设以及智能厂务系统的理论融合，能够有效提高运行效率、降低运维成本、实现能源可视及碳排可控。

中国电子系统工程第二建设有限公司设计总院常务副院长陆晶的演讲主题是《先进半导体洁净厂房的精益设计模式研讨》。先进半导体建造项目具有投资大、周期短、精度高、能耗高的特点，陆晶从设计师的角度针对该如何“多、快、好、省”地完成厂房建设提出了一些想法，列举了BIM工具、CFD技术、数字化运维系统架构等在精益设计方案中的应用。陆晶提到，设计师需要通过数据回馈来发现自己的设计缺陷，比对实际数据与模拟数据之间的差异，不断复盘和改进，才能充分发挥智能化系统的优势。他还表示，只有在设计端做到设计精益化，才能使产出端效益最大化。

埃地沃兹贸易（上海）有限公司应用技术总监马震的演讲主题为《微电子设备制造过程中毒害气体的管理和减少碳排放的整体规划》，聚焦真空泵和尾气处理设备相关的回收技术。受气候变化、环境因素、供应链压力影响，半导体材料的回收与再利用成为了重要议题，马震向我们分享了回收氙气、氢气、稀土、光阻胶的四个案例。值得一提的是，埃地沃兹青岛真空泵工厂3期工程将扩建完毕，主要针对尾气排放，未来还有4期规划，有效减少供应周期，其位于上海外高桥的研发中心也已实现水资源95%浓缩和重复利用。

东芝三菱电机工业系统（中国）有限公司中国区销售总监张强的演讲主题为《日本半导体工厂的绿色厂务》，厂务系统是工艺制造的基础条件与实时保障，绿色厂务已成发展趋势，张强以本次演讲为契机，带来了日本半导体制造工厂在“电”和“环”两方面的绿色节能经验。三菱电机的MPC装置能够应对电压暂降、暂升及短时中断产生的用电损失，凭借高效率、超高速的侦测及补偿过程、柔性退出等优势，避免产品报废等产生的巨额损失。TMfog二流体洁净加湿系统则针对绿色厂务中的“环境”问题，可高精度控制洁净厂房的恒温恒湿，同时减少二氧化碳排放，降低运维成本。

随着制造产能不断释放，意味着中国及全球半导体工厂迫切需要绿色创新解决方案的支撑才具有可持续性，而如何让真正绿色的厂务方案落地，则是产业链共同的任务。

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