电子级硅烷项目签约落地山东泰安 总投资15亿元

据新泰广电官微消息，5月21日，电子级硅烷项目签约仪式在泰安市东岳山庄举行。据了解，电子级硅烷项目位于新泰市楼德镇，总投资15亿元，规划建设年产5000吨硅烷、50吨乙硅烷及1000吨二氯氢硅、10万吨三氯氢硅的生产装置及配套质检、公用工程、车间、仓库、公司办公楼等设备设施，建设氟硅高端材料项目及相关设施，项目全部建成达产后预计可实现年产值30亿元。

电子级乙硅烷主要应用于非晶硅生长、外延生长、化学气相沉积、扩散、离子注入等工艺中,广泛应用在半导体、集成电路、太阳能电池等领域。