SiC业务增500%！该企业有何绝技？

会议预告

汽车与光储充SiC应用及供应链升级大会

近日，KLA Corporation公布了他们2023年一季度业绩报告。

报告期内，KLA 营业收入24.3亿美元（约170亿人民币），其中晶圆检测业务收入10.27亿美元，收入占比42%。

此外，KLA在化合物半导体上（如SiC）的收入相较于2019年增长了2.5倍，2022年接近7亿美元，SiC相关的业务实现了5倍增长。这些业务占该公司汽车业务收入的接近一半，且预计2023年继续增长。

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实际上，KLA 是全球著名的SiC晶圆检测设备厂商，其业务大增是得益于汽车电动化趋势带动。为确保SiC芯片的可靠性，车规级检测设备的需求量也实现了飙升。

众所周知，车规级芯片内部需要及早发现潜在的缺陷，从而避免因某些外部环境急剧变化而引发安全性和可靠性问题。相比硅基器件，SiC MOSFET的衬底和外延层的缺陷更多，因此是SiC MOSFET降低缺陷的重点环节。

那么，SiC MOSFET企业应如何更有效率地发现并分析这些缺陷，以降低SiC器件潜在的失效风险呢？

5月25日，KLA Corporation 已确认参加在上海举办的『汽车与光储充SiC应用及供应链升级大会』，届时，该公司LS-SWIFT部门技术经理裴舜将在会上带来《创新工艺控制助力碳化硅汽车芯片良率与可靠性提升》的主题报告。

会上，KLA将分享他们发现芯片潜在缺陷并筛选出高风险芯片的高效方案，借助其所擅长的全流程工艺控制解决方案为SiC和GaN等功率半导体大规模量产提供支持。

此外，他们还将通过展台展示的方式，向观众展示他们的工艺设备，检测和量测设备等，以及相关的落地案例。

裴舜来自KLA 中国LS-SWIFT特种半导体事业部，负责KLA在碳化硅、氮化镓等化合物半导体器件制造领域的市场拓展和技术应用。裴舜在半导体晶圆缺陷检测领域超过十年工作经验，参与了国内外多个重要客户的合作开发项目，具有丰富的化合物半导体缺陷检测技术、应用及市场经验。

本届大会还将重点打造SiC产业链“新技术、新产品”专场展览，将广邀业内知名的企业，全面展示产业链的最新技术，以期向观众呈现一场集行业交流、渠道联动、资源聚合于一体的行业顶尖盛会。

本次大会，名企荟萃，除KLA外，西湖仪器、中电科55所、Wolfspeed、英飞凌、泰科天润、汇川动力、优晶光电、爱发科、明锐理想等企业也将带来重磅演讲！

与此同时，西湖仪器、明锐理想、山西天成、昕感科技、优晶光电、特思迪、快克、晟芯半导体、昇先创、KLA、青昀、弘元半导体、中科同志、杭可仪器等企业也将在现场对外展示他们的碳化硅相关产品及技术等。

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