合计3000万！又有碳化硅采购

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3月29日，东南大学对外发布了2023年3至12月的采购意向，其中涉及2款碳化硅相关设备，预算金额合计3000万元。

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根据公告，东南大学计划采购碳化硅外延炉与等离子深槽刻蚀机设备，预算金额各为1500万元：

●碳化硅外延炉

设备要求：1. 晶片尺寸兼容4&6英寸；2. 产能≥300片/月（以10μm厚计）；3. 工艺温度1600℃～1650℃ 。

预计采购时间为5月。

●等离子深槽刻蚀机

设备要求：1. 最小刻蚀宽度0.8um，刻蚀深度1.5um；2. 刻蚀速率≥120nm/min ；3. 表面均一性≤±3％；4. 刻蚀角度80~89°可控 ；5. 表面粗糙度＜0.5nm 1. 沟槽底部弧度圆滑，无刻蚀底角。

预计采购时间为5月。

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