从两会建言看国内电子特气发展现状

• 第四届半导体湿电子化学品与电子气体论坛将于4月26日在杭州召开

• 湿法制程设备与技术论坛2023将于4月27-28日在杭州召开

今年全国两会期间，民进中央提出《关于加速电子特种气体国产替代的提案》，指出当前亟需加速电子特气国产替代，鼓励支持国内气体企业为我国半导体产业发展自主可控“争气”。

民进中央表示，目前，我国工业气体行业对高端半导体产品的供应体系还不够完备，在海外气体寡头垄断国际市场、把持高端产品资质认证的背景下，我国电子特气行业发展壮大仅靠市场调节难以快速破局。面临的主要问题有：一是寡头垄断市场格局已形成，国内企业竞争劣势明显；生产原料经济效益不高，企业投产意愿不强；下游企业与海外供应商合作粘性较大，实施国产替代主观意愿不强；海外光刻机寡头把持设备商资质认证高地，加剧国内气体企业获证难度。

今年全国两会期间，全国人大代表，中国船舶集团有限公司第七一八研究所党委委员、副所长郭建增指出，受惠于国家政策及资金的扶持力度增加，我国的电子特气企业已陆续解决了部分电子特气材料国产化问题，但仍存在一些问题：多种产品处于“卡脖子”状态，关键技术存在差距，国内电子特气企业起步晚、发展慢。

据中国水运网报道，郭建增建议，尽快启动国家电子特气重大专项，以电子特气龙头企业为牵头单位，联合国内电子特气相关企业，同时引入上游原物料、仪器设备、零备件等企业，下游重点集成电路制造企业，共同研发卡脖子气体。

同时，他指出，针对未实现国产化的电子特气产品，聚力突破当前电子特气受制于人的关键核心技术，开展电子特气全谱系产品研发规划，力争用三年时间，彻底解决国家电子特气卡脖子问题。

电子特气国内具体情况如何？

根据亚化咨询发布的《中国半导体电子气体年度报告》，2021年全球电子气体市场规模约为62.5亿美元，较2020年增长7%以上。其中电子大宗气体为17.1亿美元，同比增加3.30%；电子特种气体市场45.3亿美元，同比增长8.40%。预计2022年全球电子特种气体的市场规模市场容量超过50.01亿美元，全球电子特种气体需求不断提升，到2026年，电子气体市场规模将达到每年90亿美元（按当前下游比例，对应电子特气规模为65.34亿美元）。

全球电子特气竞争格局

市场格局方面，全球电子特气市场主要被德国林德、美国空气化工、法国液化空气以及日本大阳日酸占据，目前合计占据91%的市场份额；国内市场海外龙头企业也控制88%的份额，国内本土气体企业的市场份额不到20%。

不同品种电子特气需求

此外，不同电子特种气体的使用量、价格差别较大，因此市场规模也相差较大，其中全球市场规模排名靠前的电子特种气体为三氟化氮、六氟化钨、六氟丁二烯、氨气等，前十大气体占比58%。

从产品种类上看，由于电子气体涵盖掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体、CVD用气体和平衡气体等，种类过百，常用品类超过30种。据中国工业气体工业协会统计，目前集成电路生产用的电子特气，我国仅能生产约20%的品种，其余均依赖进口。进口电子气体价格昂贵、运输不便，使得电子特气国产替代需求强烈、空间广阔。

同时我们也注意到，目前国内已涌现一批专注于电子气体的国产替代企业，如中船派瑞特气（全球前十）、金宏气体、华特气体、德尔科技等，实现WF6、NF3、六氟乙烷、硅烷等产品被卡脖子的问题。

对此，参考民进中央提出四点建议如下：

一是优化产业布局。支持国内龙头企业积极布局产业链，引导冶金、气体、半导体等相关领域企业集群发展，形成以电子特气龙头企业为链主的国家级产业集群，帮助国产电子特气产品降低交易成本，拓展利润空间，提高市场竞争力。目前国内电子特气头部企业多为民营资本控股的混合所有制企业，在推动产业发展时，应对国有企业和民营企业一视同仁，支持民营头部企业积极发挥龙头作用，同时发挥国有企业社会功能，补短板、强弱项。

二是加大政策扶持力度。为电子特气产业链上下游企业提供税费优惠、成本补贴，做好供需对接，降低冶金企业生产初纯气体成本、国内半导体企业采用国产电子特气的试错成本等，帮助国内气体企业加大原料供应、拓宽销售渠道。同时，顺应上下游企业耦合黏性强、技术研发周期长等特点确定政策扶持周期，稳定市场预期，让国企敢干、民企敢闯、外资敢投。

三是完善市场竞争机制。科学制定政策实施的效果评价体系，建立退出机制、梯级激励机制等竞争机制，确保获扶持企业积极主动作为，维护行业市场竞争公平性及市场配置效率，有效发挥财政资金引导撬动作用。

四是培育质量认证服务市场。吸引海外头部企业来华设立审核认证服务平台，争取缩短国内企业获证交易成本，逐步掌握相关技术标准、管理服务经验，同时积极参与电子特气国际标准制修订，争取在产品资质认证上获取更多主动权。

来源：集微网等

晶圆制造是当今工业制造皇冠上的明珠，高纯度湿电子化学品是晶圆制造过程中清洗、光刻、蚀刻等工艺流程的必备材料，也应用于后端的封装测试环节。SEMI预计2022年中国半导体用湿电子化学品市场规模为4.28亿美元，同比增长14.13%。

电子气体是半导体制造、显示制造等产业的主要耗材之一，是中国战略性新兴产业发展中必不可少的关键支持材料。近年来中国本土气体企业如派瑞特气、华特气体、南大光电等的部分产品已经进入国内外先进晶圆厂中。SEMI预计2022年国内电子气体市场规模可达11.13亿美元，同比增长14.15%。

未来三年将是中国半导体制造产业高速发展期，中芯国际、华虹宏力、长江存储、长鑫存储等企业加速扩产，格科微、鼎泰匠芯、华润微等企业布局的多条8/12英寸晶圆生产线也将陆续投产，这将带动国内高于全球湿电子化学品与电子气体的需求增速。

在出口管制限制、实体清单打压以及各国不同版本芯片法案频出强化本土供应链背景下，半导体产业链安全愈发重要，同时国产化率较低及突破品种不足仍表明，培养稳定的本土材料供应商势在必行，这将给国内企业带来巨大的机遇。半导体电子化学品及气体将迎来空前发展机遇。

第四届半导体湿电子化学品与电子气体论坛2023将于4月26日在杭州召开。会议由亚化咨询主办，多家国内外龙头企业重点参与。

会议主题

1、含硅特种气体及其前驱体

2、半导体用大宗气体市场情况

3、半导体用干刻、清洗气体

4、半导体光刻功能性湿化学品及气体

5、半导体清洗剂的现状及替代品

6、半导体CMP抛光研磨液

7、电子级氢氟酸的纯化技术及技术发展

8、半导体级双氧水、硫酸在先进晶圆厂中的应用

9、半导体封装用电镀液市场及发展

10、半导体湿电子化学品废液处理技术

湿法制程（工艺）即制造过程中需要使用化学药液的工艺，被广泛使用于集成电路、平板显示、太阳能光伏等领域的制造过程中。以集成电路领域为例，晶圆制造过程共有七大工艺步骤，分别为氧化/扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜生长、清洗与抛光、金属化。其中，清洗与抛光、湿法刻蚀及光刻的显影、去胶等步骤所对应的专用设备就包含了湿法制程设备。

半导体专用设备在半导体行业产业链中占据重要的地位，且市场规模庞大。根据SEMI的统计数据，2021年全球半导体制造设备市场达到1030亿美元，估计2022年增长5.9%达到1085亿美元。此外，随着本土晶圆厂不断扩建投产，国内设备市场成长性高于全球，国内设备商受益于国产替代，业绩表现强劲。

更高精度的制程需要成倍于成熟工艺的湿法工序，设备作为湿制程中成本占比最高的部分，市场规模也不容小觑。以半导体清洗设备为例，根据亚化咨询预测，2025年全球市场将达到近41亿美元的规模。此外，清洗设备的国产化率仅在20%左右，可见未来国内湿制程设备的广阔机遇。

湿法制程设备与技术论坛2023将于4月27-28日在杭州召开，探讨新形势下湿制程设备产业发展的现状与趋势、上下游市场产生的新需求等问题，为湿制程设备业持续发展提供坚实的支撑。会后，论坛还将组织特有的产业链对接互动等活动。

会议主题

1、半导体设备行业经济运行剖析和成长展望

2、中国半导体设备行业支撑政策讨论

3、涂胶显影设备介绍及技术能力展示

4、清洗设备制造介绍与国内技术

5、湿法刻蚀设备的发展与国内技术

6、半导体技术革新对设备产生的新需求

7、湿制程配套大宗湿电子化学品产业现状及发展

8、功能性湿电子化学品（抛光/去胶/刻蚀液等）产业现状及发展

9、湿制程设备及材料的国产化现状

10、产业园区参观

若您有意向参会、赞助及做演讲报告，欢迎联系我们（联系方式请参见文中及文末配图）

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• 《中国半导体湿电子化学品年度报告》
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• 《中国半导体光刻产业链年度报告》
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