8寸Micro LED量产热身 艾迈斯欧司朗携手爱思强宣布设备获验证

Micro LED量产动能陆续展开，艾迈斯欧司朗8寸厂设备获得认证。李建梁摄

苹果（Apple）2024年首款Micro LED新品亮相的市场传言绘声绘影，Micro LED供应链陆续展开量产准备。艾迈斯欧司朗（amsOSRAM）和半导体设备供应商爱思强（Aixtron）联合宣布，8寸（200mm）晶圆Aixtron G5+ C和G10-AsP系统已获得艾迈斯欧司朗认证，可用于满足Micro LED应用需求。

艾迈斯欧司朗曾于2022年第1季宣布推动8寸厂产能增建计划，预计在马来西亚工厂扩建LED和Micro LED产能。爱思强表示，MOCVD系统AIX G5+ C和全新G10-AsP提供Aixtron行星卫星式气浮旋转水准技术（Planetary Technology），将提供下一代高分辨率Micro LED显示器，其MOCVD系统有望协助实现Micro LED进入放量生产，以打造新一代显示应用。

爱思强总裁暨CEOFelix Grawert表示，G10-AsP和AIX G5+ C已成功获得艾迈斯欧司朗认证，将是爱思强非常重要的里程碑。如今正面临着从传统显示技术向新型Micro LED显示技术的重大转变，爱思强将要迈入一个潜力巨大的未来成长市场，并与艾迈斯欧司朗携手共进。

艾迈斯欧司朗执行副总裁兼光电半导体业务负责人Robert Feurle表示，爱思强和艾迈斯欧司朗保持着长期合作关系，由于熟悉其设备的性能和品质标准，针对任务艰巨的专案，如开发和生产适用AsP（arsenide–phosphide platform）和氮化镓（GaN）元件的Micro LED，爱思强将是适合的合作伙伴。由于Micro LED有着特殊的生产要求，必须使用几乎无误差的磊晶制程，使缺陷最小化，支持高成品率和符合经济效益的Micro LED生产。

Micro LED具备非常显着的优势，例如更高的像素密度、更长的使用寿命、更高的亮度、更快的开关速度和更宽的色谱，进一步提升显示技术，且能耗低也是一项重要优势，使得Micro LED技术非常适合用于下一代较小显示器的消费电子装置，通常这些装置的电池提供空间非常有限。

爱思强表示，新型G10-AsP磊晶工具，是世界首款全自动AsP反应器，提供全自动「检测盒到检测盒」（cassette-to- cassette）晶圆装载以及蚀刻清洁机制。此外，间歇式反应器技术的优势，将让每片晶圆达到目前市面上最低生产成本，以及无尘室单位面积的最高输送量，同时也具有精确流量和温度控制功能，能在连续运转时保持良好的材料均匀性。

市场传出，苹果预计2024~2025年在高端Apple Watch采用Micro LED面板，并优先采用艾迈斯欧司朗的Micro LED芯片，双方已达成长期供货合约，预期苹果将是艾迈斯欧司朗8寸Micro LED工厂的最大客户。

责任编辑：陈至娴