新“兔“破！国产首台精密掩膜版FMM工艺设备出货！

2023年新年伊始，晶洲装备喜迎开门红，1月6日，晶洲装备国产首台精密掩模版（Fine Metal Mask,简称FMM）INVAR卷材工艺设备通过厂内验收，发运客户端即将投入生产。

FMM是OLED蒸镀工艺中的核心零部件，其主要作用是生产过程中沉积RGB有机物质形成像素。鉴于蒸镀工艺中对FMM材料热膨胀性能的高要求，材质常用因瓦合金，简称为INVAR。2020年，FMM市场规模达60亿元。但是目前FMM供应一直被起步更早的日韩等海外制造商垄断，且INVAR原材料受限于原产地贸易协议，中国大陆的FMM制造企业很难获得25μm以下厚度基材。而高PPI OLED屏需要更精巧的孔，FMM制造商需要获得更薄的Invar原材，Invar原材已然成为我国OLED显示行业发展的“卡脖子”因素。

原材料“痛点”的存在，无疑对国内FMM工艺装备提出了更为严苛的要求。为了打破国外企业的垄断，解决我国FMM工艺装备“卡脖子“的问题，晶洲装备自主研发生产了国内首台INVAR卷材工艺设备。该设备集成脱脂、酸洗、减薄、清洗等多种单元，具备将基材厚度管理至20μm以内水平。

随着中国AMOLED产业的真正崛起，新兴显示产业发展进入新的发展阶段，需全产业链合力抱团，晶洲装备愿与上下游厂商共同努力，在创新中谋发展，助推我国新兴显示产业做大做优做强，早日实现显示领域全产业链装备国产化。

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