盛美上海：ALD设备正在客户验证中 预计明年验证完成

集微网消息 近日，盛美上海在接受机构调研时表示，ALD设备在今年九月份已经交付客户，正在验证中，估计将于 2023 年验证完成。对明年炉管设备的销售预期：高真空合金回火炉、LPCVD、高温氧化扩散炉以及 ALD 都有重复及新客户订单，期待明年是炉管设备销售的爆发增长年。

在清洗设备方面，盛美上海过去只有单片，从 2019 年公司槽式清洗设备开始贡献收入。去年十月份，公司单片清洗设备累计达到了 2000 腔的出货量，今年十一月份单片清洗设备累计达到了 3000 腔的出货量，在一年多点的时间内，公司单片设备增长迅速。同时，今年公司槽式设备对清洗设备的订单总量有贡献，所以从相对比例来看，清洗设备整体销售量的所占比例并没有下降，还是维持在 70%左右。

盛美上海称，清洗设备的驱动力主要有两部分。一是槽式清洗设备在成熟制程的放量。无论从技术还是客户端的反馈来看，在 12 寸方面公司清洗设备属于国内龙头地位，在这个领域预计未来将继续保持增长；二是在先进制程领域，超临界二氧化碳干燥技术是当今清洗设备里的最高技术，这个技术也代表未来新型 3D 结构所需清洗核心技术的高峰。后续公司将会在国内和国际市场同时推出该项技术，市场空间广阔。同时我们可以看到，在全球范围内，盛美是清洗设备种类最全的公司。在未来，公司希望取得国内 50%的市场份额，国际上取得 20%-30%左右的市场份额。

对于镀铜设备，其表示，今年，公司的镀铜设备销售的很好，出货量较去年大幅增。主要是获得一家前道客户的大量订单以及一家封装客户的 10 台批量订单。在客户导入方面，今年公司获得一家台资企业的重复订单。整体来看，预计明年公司镀铜设备仍会保持快速增长。

在国际客户开拓方面，目前，盛美上海已有 1 台 ECP、3 台 PR 清洗设备及 1台单片清洗设备交付国际客户在中国的 FAB 厂，两台单片兆声波清洗设备已经交付美国头部客户，调试工作进行顺利。国际销售团队正在积极开拓中国台湾，韩国，欧洲大客户。

在零部件方面，盛美上海表示，整体来看，美国零部件的占比约在 5%～10%。其中，电镀设备基本不依赖美国，而其他基本也都有替代方案，只是需要时间在生产线上验证。