【中国IC风云榜候选企业145】微崇半导体：怀科技报国“赤子之心”，锐意研发检测设备革新性技术

【编者按】2023年度中国IC风云榜全新升级，首次与中国汽车报强强联手、通力合作，整合汽车产业链资源，本届年会进一步扩展赛道形成29大奖项，覆盖领域更广、产业触达程度更深、行业影响力更大。本次评委会由中国半导体投资联盟超100家会员单位和数百位行业CEO担任，奖项名单将于2023中国半导体投资联盟年会暨中国IC风云榜颁奖典礼上揭晓。

本期候选企业：上海微崇半导体设备有限公司

【参选奖项】年度优秀产品创新奖、年度创业芯星奖

微崇半导体集团成立于2021年3月，是一家由领先的海归半导体技术团队发起，并与国内资深科学家和工程师共同建立的半导体检测设备公司。作为公司创始人、董事长兼总经理，黄崇基带领团队锐意进取，取得了多项成就，包括仅用三个月时间就完成了研发机台的生产等。

2022年，微崇半导体完成了主要产品ASPIRER 3000的量产，产品通过国内最领先的代工厂、DRAM厂和NAND厂的demo，目前已确认头部客户订单。微崇半导体开发的核心技术具有巨大的创新性，是能够填补行业空白乃至定义一道/多道全新工艺的革新性技术。

剑指成世界领先的中国半导体设备公司

资料显示，微崇半导体由微崇半导体（北京）有限公司和上海微崇半导体设备有限公司组成，核心团队包括前外企高管，985/211高校教授，资深工程师以及优秀海外毕业生等，其中不乏来自华为、 华虹、科磊、昂图、上海微电子、睿励和北京大学、UCLA、USC、UCI、UNL等名企名校。

在发展基地方面，微崇半导体扎根上海市杨浦区长阳创谷园区，总面积2300平方米，其中千级洁净车间超过1100平方米，并拥有价值上千万的研发和生产设备。

自成立以来，微崇半导体一直致力于研发最先进的材料检测技术，生产最先进的半导体前道检测设备，进而为半导体制造产业的良率监控和提升提供全套解决方案，并促进先进制程的研发与生产。

凭借先进的检测技术和设备，微崇半导体可为客户的生产制造和质量监控提供优秀的检测方案。目前，公司拥有全球领先的缺陷表征技术，所研发的产品可广泛应用于半导体、科研以及平板测试领域，并已完成多个头部客户的demo及确认国内某头部客户的订单。

基于此，自2021年9月开始，微崇半导体陆续完成了与武岳峰科创、云启资本、中芯聚源和临芯投资的多轮融资，获得产业投资方的高度认可。如今，资本市场对公司的产业价值和技术能力的认可共识正在加速形成。

在发展理念上，微崇半导体旨在新技术的自主研发，不仅要解决掉“卡脖子”的国产替代问题，还要通过在更多的工艺节点中发掘新的应用场景，为客户在研发和量产中带来更多更大的应用价值。

正如“微崇”二字的立意——从细微之基，做崇高之业，志存高远，Be Aspiring！微崇半导体的目标是成为一家世界领先的中国半导体设备公司，并致力于为中国和世界半导体技术发展贡献应有力量。

攻坚研发出填补行业空白的革新性技术

基于行业经验丰富的团队以及在技术研发等方面的大力投入，微崇半导体已研发及量产具备多项创新点和关键技术的半导体检测设备ASPIRER 3000，可面向多种器件、工艺和制程，用于材料质量的检测、电学缺陷的在线监测等。

具体来看，材料质量的检测：适用于多种材料，如SiO2、HfO2、Al2O3等介质材料；Si、SiGe、SiC等多种半导体材料；以及TiN、TaN等多种Metal Gate材料。

电学缺陷的在线监测：在线检测和评估电学特性相关的晶圆缺陷，如界面态、固定电荷、体电荷、Arcing、PID、金属污染等。

适用于多种器件：对MOS、DRAM、NAND、CIS各类器件及其工艺均可适用。

适用于多种工艺：对如薄膜沉积、离子注入、退火、刻蚀等工艺均可适用。

适用于多种制程：对于逻辑芯片可适用于各种成熟和先进等制程（包括FINFET 和GAA）； 对于存储芯片可适用于各种3DNAND和DRAM等制程。

此外，微崇半导体还在多个阶段赋能客户，其中包括：

研发阶段：帮助客户精确分析晶圆的电学特性，以及晶圆电学特性的均匀度。

爬坡阶段：可对薄膜沉积、离子注入、退火等工艺进行优化；可对CIP中Q-time，以及DH的使用条件，替换周期等进行优化。

量产阶段：适用于多种工艺的在线监测要求，如针对薄膜沉积、离子注入、退火、刻蚀等工艺进行在线检测。

目前，微崇半导体的产品技术已可实现对晶圆的非接触、无损伤、在线、快速、内部检测，精准判别与定位晶圆缺陷，在研发、爬坡、量产各个阶段为客户带来巨大价值，并为半导体前道检测产业的巨大革新提供了新的动力。

与此同时，其具有创新意义的新型的电学缺陷晶圆检测技术，针对各种介质层、非介质层和新型半导体材料都具有良好的应用价值；快速，高效，精确以及全域扫描的检测能力能够满足先进制程对检测设备的高要求，是能够填补行业空白乃至定义一道/多道全新工艺的革新性技术。

怀科技报国的“赤子之心”锐意进取

无论是技术研发、应用场景适配，还是市场拓展等方面，微崇半导体能取得当前的亮眼成绩离不开创始团队发挥的中坚作用和奋勇前进。

据了解，微崇半导体创始团队有着美韩及国内先进晶圆厂和设备厂的资深经验，在为国际头部Fab厂客户进行设备验证和安装调试服务中，积累了包括软硬件开发、项目运营管理和客户服务的系统性能力。

其中，微崇半导体的创始人、董事长兼总经理黄崇基于2017年和2015年分别获美国名校硕士和学士学位，科研方向为超快激光和材料，博士在读期间加入美国某半导体设备公司。

在美国任职期间，他主导了世界首台运用创新检测技术的在线检测机台核心系统的发明、设计、组装、调试和升级等工作，并主持与国际头部客户的合作，全面负责系统工程、客户现场及技术支持，最终被任命为公司负责系统和整机的副总裁，而且获得了客户的高度认可。

由于对半导体在线检测机台具有系统级的资深的研发、生产与调试经验，黄崇基对于光机电软一体化机台的各分系统以及整机整合都有非常深刻的理解。2020年底，他怀着一颗科技报国的赤子之心，毅然放弃即将完成申请的美国绿卡，回国创立了微崇半导体。

一年多来，黄崇基带领团队锐意进取，取得了多项成就，包括仅用三个月时间就完成了研发机台的生产，以及用一年多的时间完成了产品机台的量产。通过与多家头部客户的多轮demo，微崇半导体已获得各方高度重视和好评，并最终成功收获头部客户的订单确认。

在不到两年的时间内，黄崇基就完成组建团队并带领公司实现国际先进技术的开发、落地并获得客户认可，这十分难能可贵。因此，微崇半导体得以持续获得多家产业头部投资机构的投资，以及业界对黄崇基及其领导团队的高度评价。

【奖项申报入口】

2023中国半导体投资联盟年会暨中国IC风云榜颁奖典礼即将于12月在北京举办，奖项申报已启动，目前征集与候选企业/机构报道正在进行中，欢迎报名参与。

【年度优秀产品创新奖】

“年度优秀创新产品奖”旨在表彰填补国际、国内空白或者国产替代，有效解决“卡脖子问题”的优秀创新企业，促进完善国家集成电路产业链自立自强。

【报名条件】

1、深耕半导体某一细分领域，面向近一年内研发成功；

2、技术创新性强，具有自主知识产权，有效解决卡脖子问题，促进完善供应链自立自强并产生效益的创新产品；

【评选标准】

1、技术产品主要性能和指标20%；

2、技术创新性40%；

3、销售情况40%。

【年度创业芯星奖】

星星之火，可以燎原。中国半导体的发展，离不开创业芯势力的参与。

“年度创业芯星奖“旨在表彰不惧挑战、敢想敢为，带领团队突破创新，用技术影响行业的优秀创业者。

【报名条件】

1、公司成立时间两年以内（以工商登记日期起算）；

2、创业团队有着良好的技术与产业背景，拥有核心技术与创新能力；

3、候选人需要是公司实控人或核心创始人；

4、深耕半导体某一细分领域，竞争优势明显，解决“卡脖子”的企业优先；

【评选标准】

1、团队完整性20%；

2、技术创新性30%；

3、产品进度30%；

4、行业影响力20%。