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来源:半导体前沿发布时间:2022-11-20981浏览
询问 AI近日，浙江埃纳VPD-ICPMS全自动一体化机台交付国内客户，国内客户订购的机台于10月下旬交付，已完成move in，正在加紧进行性能调试。中环领先订购的机台即将发货，这也是中环领先从埃纳订购的第3台全自动一体化机台。据了解，埃纳公司引进国际先进技术，进行本土化生产，提供本土化服务。埃纳公司自主研发的VPD集成Agilent ICPMS是全自动一体化机台，可以最大程度避免测试分析过程中引入外界污染。
浙江埃纳检测技术有限公司是专业从事半导体微污染物检测设备研发与生产的高新技术企业。2021年通过引进国际先进技术进行半导体装备国产化，在晶圆、气体和化学品领域，开发具有国际技术领先的金属污染检测设备、离子污染检测设备和有机污染物检测设备，为全球半导体、显示领域的制造商及原材料供应商提供先进的产品解决方案和服务。主要客户有国际厂商、宜兴中环、长江存储等。
随着IC器件特征尺寸不断缩小，先进制程对晶圆表面超痕量金属离子控制水平非常苛刻。IC芯片制造过程中，半导体非视觉缺陷所造成的产量损失，金属污染达到了50%以上。浙江埃纳先进的半导体晶圆金属污染物测试系统，为客户提供最优的晶圆金属污染物监测一体化解决方案。埃纳全自动VPD-ICPMS机台是24小时无人值守检测系统，全自动实时连续测试进一步提升了检测能力。一体化集成技术先进，测试液通过密闭系统直接输送至ICP-MS，降低了污染的可能性。
浙江埃纳在浙江省海宁市建设了先进的半导体装备生产线和高级洁净实验室，将国际先进的技术转移到国内，依托强大的研发团队进行技术转移，研发制造国产化、本土化的半导体装备，从而打破该领域长期被国外厂商垄断的局面。高级洁净实验室的设立，为客户提供技术培训、样品测试和样机操作服务，进一步加深对埃纳VPD-ICP-MS全自动一体化测试机台的客户体验。
第3届第三代半导体论坛将于2022年12月28日召开。多家国内外龙头企业参会，重点关注碳化硅、氮化镓上下游产业链；最新衬底、外延、器件加工工艺和生产技术；展望氧化镓、氮化铝、金刚石、氧化锌等宽禁带半导体前沿技术研究深度进展。并将参观国内第三代半导体材料与设备产业园区和重点企业。
会议主题
1.美国芯片禁令对中国第三代半导体发展的影响
2.全球与中国第三代半导体市场及产业发展现状
3.晶圆产能供需与第三代半导体市场机遇
4.6吋SiC项目投资与市场需求展望
5.SiC PVT长晶技术液相法的现状及发展
6.8吋SiC国产化进程和技术突破
7.SiC市场以及技术发展难题解决方案
8.GaN射频器件及模块在5G基站方面的应用
9.GaN在快充市场中的发展及替代情况
10.GaN激光器件技术和市场应用
11.国产化与技术及设备发展机遇与挑战
12.其他第三代半导体发展前景
13.工业参观与考察（重点企业或园区）
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2026-07-22