ASML禁止美国员工支持国内半导体客户

从12纳米～65纳米制程，仍高度仰赖浸润式DUV系统曝光，ASML未来被迫向中芯等国内业者断供DUV机台，可能性愈来愈高。中芯国际

夹处在中美两大强权之间的欧洲半导体设备大厂ASML，此前一直小心翼翼盱衡轻重、平衡与两强关系，尽管美国拜登政府7日最新祭出的输中出口管制新规，现阶段并未明言将掣肘ASML继续供货DUV曝光机给国内晶圆厂。

然而，一如金融时报(FT)在新禁令出炉后第一时间便指出，美方此番最具杀伤力的管制手段之一，便是严禁具有美国身份自然人与法人，不得透过直接或间接手段、协助国内IC开发与制造。

据此，ASML美国管理团队已于日前正式透过内部信要求，任何具有美国身份的员工，即日起立即停止向国内客户提供服务。根据彭博(Bloomberg)取得内部信显示，在进一步接获公司通知以前，ASML美国员工均不得透过直接或间接的方式，向「任何」国内客户提供设备元件出货、技术维修服务或是其他支持性质服务。

该项禁令适用于ASML所有美国员工，包括美国公民、绿卡持有者，以及居住在美国的外国人。对此，ASML公关主管Monique Mols已于12日向媒体证实这封内部信的真实性，但也强调这项通知系以内部员工为主要收件者，并非ASML向外界释出的新闻稿。

Mols进一步强调，现阶段公司仍在努力厘清与评估拜登政府出口管制新规的详细内容，但一如该份内部备忘录所言，ASML目前先行采取预防措施、避免踩雷，公司立场仍以确保完全遵循美方新规为优先。

值得注意的是，尽管ASML发言系统并未进一步解释，但也暗示目前不具美国身份的ASML员工，仍可继续向国内晶圆厂客户包括中厂中芯国际、韩厂SK海力士(SK Hynix)等必须采用该厂DUV曝光机台的重要客户，持续提供维修服务与出货相关等支持。

虽说外媒评论美国政府目前孤军作战、力阻国内高端产业发展，尚未取得盟友包括日、荷等关键供应商的全力配合，但商务部产业安全局(BIS)日前光是一记US persons条款，也让非美系设备业者，手忙脚乱。

ASML目前正在评估新法规的潜在影响，但仔细检视BIS新规与美方官员谈话，该厂似乎不太可能回避美国商务部宣布的全面出口管制。即使当前这一波新规，似乎并未明言阻止ASML向国内业者提供DUV设备，但下一波限制是否已在沙盘推演、断供国内厂商DUV机台呢？

从12纳米～65纳米制程，仍高度仰赖浸润式DUV系统曝光，ASML未来被迫向中芯等国内业者断供DUV机台，可能性愈来愈高。很明显的是，在国内完全与所有先进制程半导体相关技术断开之前，美国不会停下来。

相对地，美系设备供应商恐怕就没有类似ASML的斟酌空间，华尔街日报(WSJ)与彭博均报导指出，包括应用材料(Applied Materials)、科林研发(Lam Research)、科磊(KLA)三大美系设备大厂，已经开始或正准备将所有相关驻厂人员，撤离国内存储器大厂长江存储等厂，不过，韩厂在国内产线包括SK海力士与三星电子(Samsung Electronics)，均传出已与美方达成协议、取得豁免待遇。

责任编辑：张兴民