电科装备旗下烁科中科信中束流离子注入机顺利交付

集微网消息，电科装备北京烁科中科信官微消息显示，9月23日，北京烁科中科信电子装备有限公司（以下简称“烁科中科信”）中束流离子注入机顺利交付。

据悉，烁科中科信成立于2019年，公司源于中国电科第48研究所，是国内较早专注于集成电路领域离子注入机业务的高端装备供应商。20世纪60年代开始研究离子注入机，先后承担了90—65nm中束流和45—22nm大束流等重大项目的攻关任务，目前已拥有中束流离子注入机、低能大束流离子注入机、高能离子注入机和定制离子注入机四种产品，构建了较为系统的集成电路离子注入机谱系。

8月10日，烁科中科信第4台中束流离子注入机顺利于某集成电路产线Move in，据悉该设备进入产线后将作为BL机台在客户端进行通线。（校对/项睿）