【中标】中科飞测中标天府兴隆湖实验室1套晶圆级自动光学检测系统

集微网消息，10月25日，天府兴隆湖实验室晶圆级自动光学检测系统采购项目中标结果公布，中标人为深圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称“中科飞测”），涉及标的物为1套晶圆级自动光学检测系统。

中科飞测是一家国内领先的高端半导体质量控制设备公司，自成立以来始终专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等产品，已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线。

9月14日，中科飞测中标上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目3台微粒测量设备。（校对/韩秀荣）