【中标】北方华创中标松山湖材料实验室深Si刻蚀设备采购项目
来源:项睿发布时间:2022-09-05959浏览
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集微网消息，9月2日，松山湖材料实验室深Si刻蚀设备采购项目评标结果公示公告显示，北京北方华创微电子装备有限公司中标。
根据公告，该标的物为深Si刻蚀设备1台 ，中标价格为400万元。
北方华创官方消息显示，在刻蚀领域，2005年8月，北方华创第一台ICP刻蚀机进入大生产线；2017年11月，北方华创推出第一台金属刻蚀机；2022年8月12日，北方华创发布CCP介质刻蚀机，已在5家客户完成验证并实现量产。至此，北方华创实现刻蚀工艺全覆盖。（校对/韩秀荣）
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