近两年长江存储和合肥长鑫是对国产半导体设备厂商助力最大的项目。长鑫12寸三期建设三座12寸DRAM存储器晶圆厂，预计三期满产后产能可达36万片/月。长江存储2021年产量10万片晶圆/月，预计到2023年实现30万片/月的128层NAND产能。以前，中芯国际对于国产设备的应用非常保守，随着中芯创新中心的建设，国产设备在创新中心验证后，就可以参与中芯京城项目的建设。2020年12月7日，中芯京城集成电路制造（北京）有限公司成立，中芯国际持股51%。北京亦庄国际投资发展有限公司、国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司在新公司中分别持股24.51%、24.49%。中芯京城集项目在北京预计两期建设，首期计划投入76亿美元，目标是建设2条约产能共10万片的12寸晶圆生产线，计划2024年完工。中芯京城主流设备是以国外设备为主，但基本上每个大的环节都有国产化设备在里面，比例 2-3 成以上。盛美的清洗设备，凯士通都拿到了比较大的订单，凯世通前一段时间已经公告了，拿到6.85亿元离子注入机单子。在28nm制程方面，气相沉积设备的中微公司、北方华创的和沈阳拓荆的12 寸产品出货良好。2020年1月1日以来国内部分主要晶圆制造产线的薄膜沉积设备招标情况，6 家厂商共招标薄膜沉积设备 1060 台（仅 PVD 和 CVD 类设备），国内厂商中标 58 台，其中拓荆科技中标 40 台（主要为 PECVD 设备），国内市占率为 3.8%；北方华创中标 18 台（主要为 PVD 设备），国内市占率 1.7%。总体来看，目前国内薄膜沉积设备国产化率估计仅 5.5%。中微公司主要为 MOCVD 设备，主要客户为乾照光电、三安光电等 LED 生产厂商。屹唐和北方华创的热处理设备，中微的刻蚀设备，芯源微的涂胶显影设备都在积极出货。晶圆制造四大设备除了光刻机都可以出货了。
