集微网消息(文/小如)4月20日,国内规模最大的半导体硅片制造企业之一上海硅产业集团股份有限公司(简称“沪硅产业”)成功登陆上海证券交易所科创板。
4月10日,上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司成立,该公司股东之一正是上海硅产业集团股份有限公司。
登陆资本市场、投资设立一家新公司,似乎都意味着沪硅产业新布局的开展。
率先实现300mm大硅片规模化销售
沪硅产业前身是成立于2015年12月9日的上海硅产业投资有限公司。
招股书显示,沪硅产业主要从事半导体硅片的研发、生产和销售,是中国大陆规模最大的半导体硅片企业之一,也是中国大陆率先实现300mm半导体硅片规模化销售的企业。
目前,沪硅产业已成为多家主流芯片制造企业的供应商,提供的产品类型涵盖300mm抛光片及外延片、200mm及以下抛光片、外延片及SOI硅片。客户包括了格罗方德、中芯国际、华虹宏力、华力微电子、华润微电子、长江存储、恩智浦、意法半导体等芯片制造企业。
作为一家控股型企业,沪硅产业的研发、销售主要由其子公司开展实施。从2015年底成立后,沪硅产业短时间内即完成对国内外4家硅片公司的投资布局,专注于半导体硅片的研发、生产和销售。
而其中最为关键的三点布局,则为上海新晟、新傲科技、Okmetic。2016年沪硅产业取得了上海新昇、芬兰上市公司Okmetic的控制权,2019年公司又将新傲科技纳入合并范围。
至此之后,这三家子公司扛起了沪硅产业的三面大旗。
上海新晟:填补大陆300mm半导体硅片产业化空白
上海新昇成立于2014年6月,也是国内首个300mm大硅片项目的承担主体,由上海新阳、兴森科技、张汝京博士技术团队及新傲科技发起,坐落于临港重装备区内,占地150亩,总投资68亿元,一期总投资23亿元。
2016年10月,上海新昇成功拉出第一根300mm单晶硅锭,2017年打通了300mm半导体硅片全工艺流程,2018年最终实现了300mm半导体硅片的规模化生产。
2017年第二季度,上海新昇300mm大硅片项目已经开始向中芯国际等芯片代工企业提供样片进行认证,并有挡片、陪片、测试片等产品持续销售。2018年一季度末,上海新昇300mm硅片正片通过上海华力微电子有限公司的认证并开始销售。
2016年,上海硅产业投资3.085亿元认购上海新昇增发股份。此后,上海硅产业又将上海新昇原股东公司上海新傲和兴森科技的持股全部收购,实现了对上海新昇的绝对控股。
新傲科技:SOI材料主要供应商之一
上海新傲科技有限公司成立于2001年,2009年6月整体变更改制为上海新傲科技股份有限公司,是由中科院上海微系统所牵头,联合中外投资者设立的公司。
2002年,新傲公司建立了国内第一条SIMOX SOI生产线;2010年,新傲北区建成投产,批量生产8英寸SOI/EPI产品;2014年,新傲与法国Soitec公司开展技术合作,引进注氢剥离技术,并于2015年实现SOI产品的量产。
新傲科技官网显示,公司拥有SIMOX(注氧隔离)、Bonding(键合)和Simbond(完全自主开发的SOI新技术)和Smart-cut四类SOI晶片制造技术,能够提供4英寸、5英寸和6英寸SOI晶片和SOI外延片,能批量提供8英寸SOI片。
而其中尤为值得关注的是Smart cut技术。Smart cut是由Soitec公司开发的专利技术,已用于生产全球近100%在售的绝缘硅(SOI)晶圆。
2014年5月,Soitec与新傲科技签署合作协议和技术转让协议。自此,新傲科技应用Soitec的Smart Cut专利技术生产高质量的RF-SOI和Power-SOI产品,并达到世界级水准。
2016年,Soitec和新傲科技宣布首个采用Soitec专有Smart Cut技术制作的200mm SOI晶圆在上海工厂生产成功。
2019年,Soitec与新傲科技联合宣布将加强合作关系,扩大新傲科技位于中国上海制造工厂的200mm SOI晶圆年产量,从年产18万片增加至36万片。
Okmetic:芬兰老牌硅晶圆生产商
Okmetic是芬兰的全球第七大硅晶圆生产商,主要产品为半导体硅抛光片和SOI 硅片,主要应用于智能手机、便携式设备、汽车用电子设备、物联网等。
2016年,沪硅产业收购了Okmetic,所生产的硅晶圆产品用于MEMS、传感器、模拟电路及分离式半导体产品开发及生产。(校对/小北)