外媒：Axcelis多批高电流离子注入机发货 客户为亚洲半导体制造商

集微网消息，据外媒evertiq报道，Axcelis Technologies宣布发货多批Purion Dragon高电流离子注入机（high current implanter），其中包括后续订单（follow-on orders），以及对先进存储设备制造新客户的渗透。

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Purion Dragon具有高电流离子注入机架构，具有正交光束光学器件，旨在解决高级存储器和逻辑应用的关键注入工序。这些设备于2022年第一季度和第二季度发货。除了这些客户位于亚洲之外，该公司没有提供有关这些客户的任何详细信息。（校对/思坦）