森美协尔：第三代半导体面临可靠性测试挑战

2021年，第三代半导体产业迎来了“高光时刻”，2022年，产业如何更好地“乘风破浪”？

除旧迎新之际，“三代半风向”特别邀请了一批SiC、GaN产业专家，一同回顾2021、展望2022，希望通过一系列专访报道，为产业打开新视野，指明未来的前进方向。

本期专访嘉宾：森美协尔创始人&总经理刘世文

三代半风向：您会用哪几个关键词来形容2021年的第三代半导体产业？

刘世文：蓬勃发展、应用广泛

三代半风向：您认为过去一年，行业有哪些大的变化？

刘世文：从18年特斯拉的Model3使用意法半导体的650V SiC MOSFET后，比亚迪、蔚来、小鹏等国内车企纷纷加入采用SiC的浪潮中，越来越重视SiC器件的应用，这都是源于市场对于第三代半导体优异性能的认可。除了新能源汽车（EV/HEV），第三代半导体正在被广泛应用在轨交、功率因数校正电源（PFC）、风电（Wind）、光伏（PV）、充电桩、不间断电源（UPS）等典型市场。

三代半风向：您认为，过去的一年，第三代半导体产业有哪些比较重要的事件？

刘世文：7月份的时候，“意法半导体中国”官方微信宣布，ST瑞典北雪平工厂成功制造出首批8英寸碳化硅晶圆片，这些晶圆将用于生产下一代电力电子芯片的产品原型。8英寸的碳化硅晶圆相比与6英寸的碳化硅晶圆相比，可用于制造集成电路的可用面积几乎扩大1 倍，这将使得产量和生产效率可以得到极大的提升。

ST首批8英寸碳化硅晶圆片

国内的第三代半导体投资也有很多，对于国内产业链上游的设备和材料厂商来说是一个利好。

三代半风向：第三代半导体行业依旧存在的挑战是什么？

刘世文：成本与良率，元器件设计与制作工艺和良率，特别是制造工艺。

如何保证选用的功率器件在高温、强辐射、大功率环境下能稳定可靠的运行，以确保良率，这给设计工程师带来了非常大的测试挑战。

半导体测试环节重要的装备之一是探针台，主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。探针台是检测半导体芯片的电参数、光参数的关键设备。经过检测，探针台将参数特性不符合要求的晶粒记录下来，在进入后续工序前予以剔除，可大大降低器件的制造成本。

三代半风向：2021年贵公司推出了哪些新技术和产品？

刘世文：森美协尔从09年创立至今，一直是以市场需求为导向，不断对我们的产品和技术迭代更新，以SEMISHARE X12 X Series为例，是一款集成了电学、光波、微波等测试功能的半自动探针台，专业应对12寸Wafer (向下兼容8寸，6寸）Si，GaN，SiC等各类材质的先进芯片的性能测试。

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可对晶圆、MEMS、生物结构、光电器件、大功率器件（如IGBT、MOSFET器件）以及其他集成电路、LED等进行7*24全天候在片探测，并可加载温控系统，满足客户于高低温环境下的各种性能测试要求。设备可配备相应的仪器仪表，对各类元器件、Wafer等进行I-V、C-V、光信号、RF、1/F噪声等进行特性分析，是一款综合型多功能半自动探针台，并可根据需要，进行客制化技术指标设定，匹配客户通用设备要求。

三代半风向：您如何看待未来三到五年内第三代半导体行业的发展变化？

刘世文：以氮化镓(GaN)、碳化硅(SiC)为代表的第三代半导体具备耐高温、耐高压、高频率、大功率等优势，相比硅器件可降低50%以上的能量损失，并减小75%以上的装备体积，是助力社会节能减排并实现“碳中和”目标的重要发展方向。“碳中和”趋势浪潮下，可提升能源转换效率的第三代半导体产业正在开启发展加速度，在此过程中，SEMISHARE会通过在测试领域的经验和技术，为相关客户提供稳定的测试产品。

三代半风向：贵公司在新能源汽车方面目前有哪些进展？

刘世文：过去一年我们已经在车规级芯片测试领域有了一些客户和布局，新的一年，SEMISHARE会跟更多的汽车/新能源相关芯片设计厂商、Fab厂和测试厂进行深入合作，共同研发能符合客户需求，提供稳定测试环境的探针台产品。

三代半风向：2022年，贵公司有哪些有哪些发展目标？

刘世文：整个半导体行业从去年开始都呈现大幅度增长，同时随着第三代半导体导入市场，对于芯片测试这块，大功率、高低温、射频这块测试的市场需求增多，从实验室到晶圆厂，我们一直致力于为客户提供半导体测试解决方案实现更精准的测量结果，帮助客户快速实现技术目标。

三代半风向：问一个“蹭热点”的问题，Facebook改名“Meta”，让“元宇宙”热度值直线飙升，您如何看待元宇宙跟第三代半导体产业的交集？

刘世文：现实与虚拟的交互，在未来会对相应产品在存储、显示、散热、信息处理速度上有更高的要求，对应应用的上游就是芯片设计、Fab产能、稼动率/良率、设备、材料这几个关键词。这里面也当然包含第三代半导体的内容。

所谓的元宇宙能否成为现实，其实是跟上面提到的这些上游有关。没有这些支撑，元宇宙就没法实现。

“2022展望”专题将陆续推出，将有更多第三代半导体领袖企业和行业专家分享他们的独特思考，敬请关注！