上海新阳与Heraeu开启半导体光刻胶合作

近日，上海新阳半导体材料股份有限公司发布了关于签订《合作备忘录》的公告，公告显示上海新阳与 HeraeusDeutschland GmbH & Co. KG（以下简称“Heraeus”）签署的《合作备忘录》系双方就建立合作关系而签署的框架协议，为解决中国半导体供应链面临的新挑战，推进半导体光刻胶的发展，双方将深度合作，共同努力优化创新的光刻胶解决方案。

公告称上海新阳作为国内集成电路制造关键工艺材料供应商，自立项进行光刻胶项目研发以来，将突破集成电路高端光刻胶国外垄断，实现集成电路高端光刻胶材料的国产化作为发展目标，在ArF干法、KrF厚膜及I线光刻胶方面已有技术与产品的突破，部分产品已经拿到订单。

上海新阳表示，公司与Heraeus签署本协议，旨在完善光刻胶供应链，为光刻胶项目的开展提供材料和技术保障，对加快公司集成电路制造用光刻胶产品研发项目进度有积极影响，有利于加速落实公司发展战略，提高公司可持续发展能力。

来源：上海新阳