SiCrystal将出货3英寸碳化硅片

    Sicrystal声称，该公司此次出货的圆片质量已经有了大幅提高，在片上应力、缺陷数目以及导电的各向同性方面都有所改善，但该公司并未给出具体数值，也没有说明测量方法。而对于圆片的电阻率，该公司表示，远高于105欧姆厘米。