CMP耗材市场持续增长 达到新高

    据该咨询公司合伙人Mark Thirsk说，CMP浆料和磨盘市场将持续增长，2009年达到18亿美金。65nm-45nm铜互连技术的发展和广泛采用将成为CMP市场增长的最大驱动力。但CMP也将用于其它应用，比如隔离层、钨以及氧化层的抛光，浅沟隔离工艺以及多晶硅抛光等。