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来源:semi发布时间:2021-10-221481浏览
询问 AI今日(10月22日),中微半导体设备(上海)股份有限公司(中微)临港总部和研发基地项目开工仪式在临港新片区项目现场举行。

中微公司董事长兼总经理尹志尧博士表示:“中微临港总部和研发基地项目建成后,将成为公司临港总部和研发中心,集办公、研发、试验、服务等功能于一体,从硬件设施层面满足公司集成电路设备、泛半导体设备、关键零部件等的研发需求。聚焦刻蚀设备、薄膜沉积设备等优势产品,加快更多集成电路设备的开发,进一步拓展到泛半导体及微观器件、工业互联网平台及信息化服务等领域,并探索高科技在国计民生中的广泛应用。”
中微临港总部和研发基地项目位于临港新片区滴水湖畔,总占地面积约25.05亩,规划总建筑面积约10.5万平方米,其中地上建筑面积约7.5万平方米,地下建筑面积约3万平方米。
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