重磅！大基金入股一家半导体设备公司！

大基金二期入股至纯科技子公司

10月18日，至纯科技发布公告表示，上海至纯洁净系统科技股份有限公司控股子公司至微半导体（上海）有限公司拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让。其中大基金二期和混改基金成为至微科技股东。

来源：至纯科技公告

本次交易前，至微科技注册资本为4.55亿元，依据增资前至微科技25亿元的估值，对应5.4945元注册资本，本次远致星火、大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡、平潭溥博芯诚股权投资合伙企业（有限合伙）、上海芯晟至远企业管理合伙企业（有限合伙）合计向至微科技增资4.2亿元。

至纯科技表示，至微科技是承载公司重要战略决策“从工艺装备支持系统到工艺装备”、投入湿法设备研发和产业化的主体。至微科技成立以来，完成了系列化产品的研发、制造和销售，累计已获得来自各大集成电路制造领先企业的湿法设备订单超过160 台，成为国内湿法设备的主要供应商之一。