国产光刻胶有新突破了?二大厂商宣布量产时间,可用于7nm芯片
来源:西西 发布时间:2021-03-09 分享至微信

在2019年7月份的时候,日本对韩国半导体进行了打压,对包括光刻胶在内的三种半导体材料对韩国出口进行了限制,一时之间让韩国产导体产业紧张不已。


光刻胶是用来干什么的?为何一禁韩国就紧张了?光刻胶是芯片制造过程中必不可少的一种材料,硅晶圆光刻前,都要涂上光刻胶,没有光刻胶就无法光刻,从而无法实现芯片的生产。



目前市场上的光刻胶,主要被日本、美国企业垄断,这两国的企业占了全球85%的份额,而日本一家占了70%的份额,可以说全球的芯片制造企业的脖子,都被日美卡着的。


而从光刻胶的分类来看,主要有g线、i线、KrF、ArF等,前两种是最常见的,最低端光刻胶。而KrF、ArF等则是比较高端,且光刻分辨率较高的光刻胶,基本被美日垄断。


所以如果日本不出口到韩国,韩国自然心慌了。当然如果日本不出口到中国来,中国也一样心慌,中国的光刻胶自给率不到20%,还主要集中在g线、i线,高端的KrF非常非常少,自给率可能在5%左右,而ArF甚至无法量产。


而高分辨率的光刻胶是半导体化学品中技术壁垒最高的材料,有业内人士甚至曾说,日美企业技术领先国内企业二十年至三十年。



但近日,在光刻胶领域,却传出好消息了,那就是上海新阳发布公告称,买了一台ASML-1400的光刻机,目前已经入场,这台光刻机用于193nmArF干法光刻胶产品的生产。


而据上海新阳的说法,193nm的ArF光刻胶可在2022年实现少量销售,2023年开始量产。


而193nm的ArF干法光刻胶经过多次曝光可以用于第一代的7nm制程(不是EUV工艺),可见这真的是一个好消息。


其实不只是上海新阳,另外一家国产半导体材料企业苏州晶瑞于去年也发布了公告,称在ASML那买到了一台XT1900Gi型ArF浸入式光刻机,也是用于ArF光刻机的生产,预计在2022年也将量产ArF光刻胶。



可见,如果进展顺利,那么国产光刻胶在2022年就实现重大突破,再也不用担心被卡脖子了,毕竟ArF光刻胶是可以用于7nm(非EUV)芯片的生产的。


接下来就看这两家厂商的研发、试产、量产进程是否顺利了,同时也希望国内涌现出更多的这样的厂商出来,中国芯才能真正的稳步向前。


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