据报道，中国电科第四十八研究所（简称“48所”）近日与国内某头部企业达成超亿元MOCVD设备订单协议，同时与国内头部砷化镓电池企业签订大规模MOCVD供货战略合作协议。

资料显示，48所自主研发的MOCVD设备是III-V族化合物半导体材料外延生长的关键装备，专注于砷/磷材料体系，能够高效制备砷化镓、磷化铟等材料。这款设备广泛应用于光电激光器、射频器件、空间太阳电池等领域，为5G通信、人工智能、自动驾驶等新兴技术提供核心材料制备平台。其在线监测、全自动传输等先进技术的应用，使材料均匀性、界面陡峭度和掺杂精度等关键指标达到行业领先水平。

作为国内化合物半导体外延装备领域的领军企业之一，48所已成功推出SiC外延炉、MBE设备及MOCVD等系列化产品。此次MOCVD设备的突破，不仅拓宽了48所在半导体领域的业务范围，也为国家半导体装备产业集聚区的建设提供了有力支持。