据报道，半导体设备制造商Infinitesima近日宣布，其Metron3D 300mm在线晶圆量测系统已被SK海力士正式采用并投入量产。这款系统为SK海力士次世代存储器元件的制造提供了次纳米级别的三维制程控制，成为其先进工艺的关键支撑。

SK海力士DMI（缺陷分析、量测与检测技术）部门负责人崔永铉表示，在先进DRAM制程中，纳米级三维制程控制对提升良率至关重要。Metron3D以其卓越的次纳米量测性能和符合高产量制造（HVM）的成本优势，成功通过了多轮评估并应用于多个制程步骤的特性分析。

Metron3D系统基于Infinitesima独有的快速探针显微镜（RPM）技术，量测速度比传统原子力显微镜（AFM）快10至100倍。同时，该系统具备全自动化的晶圆、数据及探针处理能力，非常适合半导体器件的在线量产。

Infinitesima总裁兼首席执行官Peter Jenkins表示，SK海力士的支持和指导帮助Metron3D系统快速通过认证并成功导入高产量制造。这一合作不仅验证了Infinitesima的技术实力，也为存储器制造工艺的效率和精度提升开辟了新路径。